半導(dǎo)體晶圓中測(cè)設(shè)備-探針臺(tái)

時(shí)間：2019-03-30作者：河北西五科技有限公司瀏覽：1321

晶圓測(cè)試探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)是晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)的**設(shè)備。探針臺(tái)的主要作用是將晶圓和測(cè)試機(jī)相連接，具體過(guò)程為：探針臺(tái)將晶圓逐片自動(dòng)傳送至測(cè)試位置，芯片的pad點(diǎn)通過(guò)探針、**連接線(xiàn)與測(cè)試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接，測(cè)試機(jī)對(duì)芯片施加輸入信號(hào)、采集輸出信號(hào)，并將測(cè)試結(jié)果通過(guò)傳送給探針臺(tái)，探針臺(tái)據(jù)此對(duì)芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記，行程晶圓的Map圖。另外，探針卡作為重要的耗材，是將晶圓的DUT板相連接的測(cè)試接口，通過(guò)探針與晶圓上每個(gè)裸片的觸點(diǎn)相連，完成與測(cè)試機(jī)的信號(hào)傳輸。
探針臺(tái)要求的精度定位程度非常高，因而具備比分選機(jī)較高的技術(shù)壁壘。探針臺(tái)可以應(yīng)用在芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)、晶圓加工過(guò)程的檢測(cè)以及加工完成后的CP檢測(cè)環(huán)節(jié)。**探針臺(tái)的市場(chǎng)規(guī)模大約在5億美元(數(shù)據(jù)來(lái)源于Gartner)，占總檢測(cè)設(shè)備的6%左右。**探針臺(tái)市場(chǎng)主要由東京精密與東京電子兩家日本企業(yè)占據(jù)，兩者的市場(chǎng)份額可以達(dá)到80%以上。


河北西五科技有限公司專(zhuān)注于晶圓測(cè)試探針臺(tái),全自動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 晶圓測(cè)試自動(dòng)探針臺(tái)

  探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本特性。 半自動(dòng)型 chuck尺寸800mm/600mm X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm 可搭配金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡 針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆 顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2

• 半導(dǎo)體晶圓中測(cè)設(shè)備-探針臺(tái)

  晶圓測(cè)試探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)是晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)的**設(shè)備。探針臺(tái)的主要作用是將晶圓和測(cè)試機(jī)相連接，具體過(guò)程為：探針臺(tái)將晶圓逐片自動(dòng)傳送至測(cè)試位置，芯片的pad點(diǎn)通過(guò)探針、**連接線(xiàn)與測(cè)試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接，測(cè)試機(jī)對(duì)芯片施加輸入信號(hào)、采集輸出信號(hào)，并將測(cè)試結(jié)果通過(guò)傳送給探針臺(tái)，探針臺(tái)據(jù)此對(duì)芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記，行程晶圓的Map圖。另外，探針卡作為重要的耗材，是將晶圓的DUT板相連接的測(cè)試接口，通過(guò)探針與晶圓上每