潔凈等級說明－之電子制造業(yè)

時間：2013-09-18

作者：深圳市碧海青云凈化科技有限公司

各行業(yè)因生產(chǎn)工藝的不同，對潔凈度的要求不一樣.目前主要是那些行業(yè)需求建造潔凈室呢？主要有生物制造業(yè)、電子制造業(yè)、

印刷包裝行業(yè)、食品行業(yè)、光電光學、醫(yī)療衛(wèi)生、潔凈實驗室、無塵表面處理行業(yè)等高科產(chǎn)品。

電子制造業(yè)：

隨著計算機、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時對潔凈室的

設(shè)計提出了較高的要求，電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計是一項綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計特點，做

到設(shè)計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。

電子制造業(yè)潔凈室的特點:

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔

凈室對靜電要求較其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)較易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，

電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜

電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電

子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求較為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫

濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

◆電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

◆電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

◆電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa

◆電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的較大值：

◆補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

◆保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

◆電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應設(shè)置新風，**溫斷電保護，若采用點加濕時應設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新

風系統(tǒng)應設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項較大值：1：保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量；

2：根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量；3：向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

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