真空鍍膜機(jī)真空計(jì)知識(shí)

時(shí)間：2020-01-05作者：東莞愛加真空科技有限公司瀏覽：979

　真空計(jì)：真空計(jì)是真空鍍膜設(shè)備上的重要組成部分，它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。

　　真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為**真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，**真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低，相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。

　　本文重點(diǎn)介紹鍍膜機(jī)器上面常用到的以下幾個(gè)真空計(jì)：

　　點(diǎn)阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計(jì))：它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成，主要是根據(jù)在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。

　　上面開口處與被測(cè)真空系統(tǒng)相連接，熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成，兩支支架引線與測(cè)量線路連接。當(dāng)壓強(qiáng)降低的時(shí)候，由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小，因此當(dāng)熱磁加熱電流穩(wěn)定時(shí)候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測(cè)量熱絲電阻值的大小來間接測(cè)量壓強(qiáng)，有以下關(guān)系：這就是電阻真空計(jì)的工作原理，此真空計(jì)的測(cè)量范圍是：100-10-1帕之間，目前采用的型號(hào)是磁控放電真空計(jì)：

　　工作原理：在放電開始時(shí)，由于空間游離電子向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)時(shí)，在正交電磁場(chǎng)作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進(jìn)，又因?yàn)殛?yáng)極是框形，故電子不一定**次就碰上陽(yáng)極，而是穿過陽(yáng)極，然后收到對(duì)面陰極的拒斥，又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽(yáng)極。

　　由于電子路程大大加長(zhǎng)，故碰撞及電離的分子數(shù)增加，使得在較低壓強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。

　　目前比較多的型號(hào)有PKR251、GI-PARY放電管真空計(jì)：在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極，在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓，在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)(1*10*3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電，通過放電顏色來判定其真空度。

　　目前為止，此種真空計(jì)已經(jīng)很少使用，因?yàn)槠湔`差大，容易損壞，而且壽命不長(zhǎng)。

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