靶材種類

    1.常規(guī)金屬氧化物靶材:氧化靶材MgO,氧化錳靶材MnO,氧化鐵靶材FeO,氧化鈷靶材CoO,氧化鎳靶材NiO,氧化銅靶材CuO,氧化鋅靶材ZnO,氧化鉛靶材PdO,氧化錫靶材SnO,氧化鋁靶材Al2O3.
    2.稀有金屬氧化物靶材:氧化銦靶材InO2,氧化鍺靶材GeO2,氧化鎵靶材Ga2O3,氧化靶材Sb2O3,氧化鉍靶材Bi2O3,氧化鎘靶材CdO,氧化鈦靶材TiO,氧化靶材ZrO2,氧化鉿靶材HfO2,氧化釩靶材V2O5,氧化鈮靶材Nb2O5,氧化鉭靶材Ta2O5,氧化鉻靶材CrO,氧化鉬靶材MOO3,氧化鎢靶材WO3,氧化錸靶材ReO,氧化碲靶材TeO2,氧化硼靶材B2O3,氧化靶材SeO2.
    3.貴金屬氧化物靶材:氧化金靶材AuO,氧化鈀靶材PdO,氧化鉑靶材PtO2,氧化銥靶材IrO2,氧化釕靶材RuO2,氧化銠靶材Rh2O3.
    4.稀土金屬氧化物:氧化鑭靶La2O3、氧化鈰靶CeO2、氧化鐠靶Pr6O11、氧化釹靶Nd2O3、氧化鏑靶材Dy2O3、氧化釤靶Sm2O3、氧化鉺Er2O3靶、氧化銩靶Tm2O3、氧化鈥靶Ho2O3、氧化銪靶Eu2O3、氧化鐿靶材Yb2O3、氧化镥靶材Lu2O3、氧化釔靶材Y2O3、氧化鈧靶材Sc2O3、氧化釓靶材Gd2O3、氧化鋱靶材Tb2O3稀土陶瓷靶材及稀土摻雜靶材.
    5.碲化物靶材:碲化銅靶材CuTe、碲化鋅靶材ZnTe、碲化鉛靶材PbTe、碲化錫靶材、碲化銦靶材In2Te3、碲化靶材Sb2Te3、碲化鉍靶材Bi2Te3、碲化鍺靶材GeTe2碲化鐵靶材FeTe、靶材CdTe..
    6.化物靶材:化銅靶材CuSe、化亞銅靶材Cu2Se、化鋅靶材Zn Se、化鉛靶材Pb Se、化錫靶材SnSe、化銦靶材In2 Se 3、化靶材Sb2 Se 3、化鉍靶材Bi2 Se 3、化鍺靶材Ge Se 2、化鎵靶材Ga2Se3、化鐵靶材Fe Se、化鈷靶材CoSe2、化鎳靶材NiSe2、化鈦靶材TiSe、化鉿靶材HfSe、化鎘靶材CdSe、化鉻靶材CrSe、化鉭靶材TaSe.
    7.化物靶材:化鋅靶材ZnS、化銅靶材CuS、靶材CdS、化銦靶材InS、化鉬靶材MoS2、化鐵靶材FeS、化鉛靶材PbS、化錫靶材SnS、化鎳靶材NiS、化鉭靶材TaS2、化鉍靶材BiS、化靶材SbS、化鍺靶材GeS、化鐵靶材FeS2.
    8.氮化物靶材:氮化鋁靶材AlN、氮化鈦靶材TiN、氮化鎵靶材GaN、靶材MgN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化銅靶材CuN、氮化鈮靶材NbN、氮化鉭靶材TaN、氮化鉻靶材CrN、氮化靶材ZrN.氮化鈣靶材CaN.
    9.碳化物靶材:碳化硅靶材SiC、碳化硼靶材BC、碳化鐵靶材FeC、碳化鈦靶材TiC、碳化鉭靶材TaC、碳化鉻靶材CrC、碳化鉿靶材HfC、碳化靶材ZrC、碳化鎢靶材WC、碳化鈮靶材NbC、碳化釩靶材VC、碳化鈷靶材CoC.
    10.硼化物靶材:硼化鑭靶材LaB6、硼化鈰靶材CeB6、硼化鋱靶材TbB6、硼化銪靶材EuB6、硼化釤靶材SmB6、硼化鉿靶材HfB、硼化鈦靶材TiB、硼化鉻靶材CrB、硼化釩靶材VB、硼化靶材ZrB、硼化鐵靶材FeB、硼化鉭靶材TaB、硼化鈮靶材NbB、硼化鎳靶材NiB、硼化鉬靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化鋁靶材AlB、硼化靶材MgB、硼化鋇靶材BaB、硼化鎢靶材WB、硼化鈷靶材CoB、硼化鈣靶材CaB、硼化鎳靶材NiB.
    11.氟化物靶材:氟化釓靶材GdF、氟化釔靶材YF、靶材LaF、氟化鐿靶材YbF、氟化鉺靶材ErF、氟化鈥靶材HoF、氟化鈰靶材CeF、氟化鋱靶材TbF、氟化銪靶材EuF、氟化鐠靶材PrF、氟化釤SmF、氟化擼靶材LuF、氟化鏑靶材DyF、氟化釹靶材NdF、氟化鈧靶材ScF、氟化靶材MgF、靶材BaF、氟化納靶材NaF、氟化鋁靶材AlF、氟化鈦靶材TiF.
    12.硅化物靶材:硅化鋁靶材AlSi、硅化鉻靶材CrSi、硅化鎳靶材NiSi、硅化鎢靶材WSi、硅化鉿靶材HfSi、硅化靶材ZrSi、硅化鈮靶材NbSi、硅化釩靶材VSi、硅化錳靶材MnSi、硅化鉬靶材MoSi、靶材MgSi、硅化鈦靶材TiSi、硅化鐵靶材FeSi、靶材CaSi.
    13.特種復(fù)合物陶瓷靶材:氧化鋅鋁靶材AZO、氧化銦錫靶材ITO、鈦酸鋇靶材BaTiO3、鈦酸鍶靶材SrTiO3、鈦酸鍶鋇靶材BaSrO3、鐵酸镥靶材LuFeO3、鈦酸鐠靶材PrTiO3、鈦酸鉛靶材PbTiO3、酸鉛靶材PbZrO2、鈦酸鉛靶材PbZrTiO3、鐵酸鉍靶材BiFeO3、釕酸鍶靶材SrRuO3、鈮酸靶材LiNbO3、鉭酸靶材LiTaO3、鐵酸鉍镥靶材LuBiFeO3、鉍酸鋇靶材BaBiO3、鈷酸鋇靶材BaCoO3、銅酸鋇靶材BaCuO2、鐵酸鋇靶材BaFe12O19、錳酸鋇靶材BaMnO3、鉻酸鉍靶材BiCrO3、釤酸鉍靶材BixSm(1-x)O3、酮酸鈣靶材CaCuO2、錳酸鈣靶材CaMnO3、鈦酸鈣靶材CaTiO3、鐵酸鈷靶材CoFe2O4、鏑鋇銅氧靶材DyBa2Cu3O7、鈥鋇銅氧靶材HoBa2Cu3O7,釔鋇銅氧靶材Y Ba2Cu3O7,鈷酸鉺靶材ErCoO3、鎵鋇銅氧靶材GaBa2Cu3O7、鉻酸釓靶材GdCrO3、鈧酸釓靶材GdScO3、銅酸鑭靶材,La2CuO4、酸鑭靶材La2Zr2O7、鋁酸鑭材LaAlO3、鈷酸鑭靶材LaCoO3、鉻酸鑭靶材LaCrO3、鐵酸鑭靶材LaFeO3、錳酸鑭靶材LaMnO3、鎳酸鑭靶材LaNiO3、鑭鋇鈷氧靶材LaxBa(1-x)CoO3、鑭鈣鈷氧靶材LaxCa(1-x)CoO3、鑭鈣鈷氧靶材LaxCa(1-x)MnO3、鑭鈣錳氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、鑭鍶錳氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、鑭鍶鐵氧靶材LaxSr(1-x)FeO3、鑭鍶鈦氧靶材LaxSr(1-x)TiO3、鑭鍶銅氧靶材LaxSr(2-x)CuO4、錳酸镥靶材LuMnO3、銅酸釹靶材Nd2CuO4、釹鋇銅氧靶材NdBa2Cu3O7、鐵酸鎳靶材NiFe2O4、鈦酸鉛靶材PbZrxTi(1-x)O3、
    鐠鋇銅氧靶材PrBa2Cu3O7、鈷酸鐠靶材PrCoO3、鐠鈣錳氧靶材PrxCa(1-x)MnO3、錳酸鈧靶材ScMnO3、釤鋇銅氧靶材SmBa2Cu3O7、鈧酸釤靶材SmScO3、鈷酸鍶靶材SrCoO3、銅酸鍶靶材SrCuO2、鐵酸鍶靶材SrFe12O19、錳酸鍶靶材SrMnO3、鐵酸釔靶材Y3Fe5O12、鋁酸釔靶材、鐿錳氧靶材YbMnO3等。
    

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    1.常規(guī)金屬氧化物靶材:氧化鎂靶材MgO,氧化錳靶材MnO,氧化鐵靶材FeO,氧化鈷靶材CoO,氧化鎳靶材NiO,氧化銅靶材CuO,氧化鋅靶材ZnO,氧化鉛靶材PdO,氧化錫靶材SnO,氧化鋁靶材Al2O3. 2.稀有金屬氧化物靶材:氧化銦靶材InO2,氧化鍺靶材GeO2,氧化鎵靶材Ga2O3,氧化銻靶材Sb2O3,氧化鉍靶材Bi2O3,氧化鎘靶材CdO,氧化鈦靶材TiO,氧化鋯靶材ZrO2,氧化

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