壓電納米平移臺

        壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺,X 軸,XY 軸,XYZ 軸多維壓電平移臺,驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下,機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍;直驅平臺的響應速度要比機構放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍較大可達300μm,且它具有納米級分辨率以及毫秒級的相應時間。
        在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用,且應用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。
    
    P63.XY直驅壓電平移臺,是二維XY軸運動壓電定位臺,采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性,壓電平移臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用。
     
    特性
          ? 較大位移8μm/軸             ? 電阻與電容傳感器可選               ? 二維運動無耦合              ? 較大承載0.5kg
    
    P11二維Z軸壓電平移臺,包含直驅機構與放大機構兩種驅動形式,位移行程從5.5μm至110μm多種型號可選,產(chǎn)品外形體積小巧,結構緊湊,具有納米級定位精度及亞納米級分辨率,是二維精密定位應用的可以選擇。
    特點:
            ? XZ軸二維運動                   ? 電阻與電容傳感器可選                  ? 較大位移110μm
            ? 二維運動無耦合                 ? 響應速度快                 
    
    XP-611二維XY軸壓電平移臺,包含直驅機構與放大機構兩種驅動形式,位移行程從5.5μm至110μm多種型號可選,產(chǎn)品外形體積小巧,結構緊湊,具有納米級定位精度及亞納米級分辨率,是二維精密定位應用的可以選擇。
    特點:
            ? XY軸二維運動               ? 電阻與電容傳感器可選              ? 較大位移100μm
            ? 二維運動無耦合             ? 響應速度快              

    哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電陶瓷,壓電陶瓷驅動電源,高精度測微儀等

  • 詞條

    詞條說明

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