SEM及EDS測(cè)試范圍有哪些？

時(shí)間：2019-12-23作者：深圳市啟威測(cè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司瀏覽：2670

SEM的二次電子成像分辨率約3nm
背散射電子成像分辨率約300nm
EDS成分分析的元素范圍Be~U
分析深度約1μm
檢測(cè)下限約1%
空間分辨率約1μm
SEM+ EDS常規(guī)服務(wù)項(xiàng)目:
各種固體材料的形貌分析
微區(qū)化學(xué)成分檢測(cè)
樣品成分的線分布和面分布分析

機(jī)械探針式測(cè)量方法:探針式輪廓儀測(cè)量范圍大，測(cè)量精度高，但它是一種點(diǎn)掃描測(cè)量，測(cè)量費(fèi)時(shí)。機(jī)械探針式測(cè)量方法是開(kāi)發(fā)較早、研究充分的一一種表面輪廓測(cè)量方法。它利用機(jī)械探針接觸被測(cè)表面，當(dāng)探針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí)，被測(cè)表面的微觀凹凸不平使探針上下移動(dòng)，其移動(dòng)量由與探針組合在- -起的位移傳感器測(cè)量，所測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y(cè)表面的輪廓。機(jī)械探針是接觸式測(cè)量，易損傷被測(cè)表面。

光學(xué)探針式測(cè)量方法:光學(xué)探針式測(cè)量方法原理上類似于機(jī)械探針式測(cè)量方法，只不過(guò)探針是聚集光束。根據(jù)采用的光學(xué)原理不同，光學(xué)探針可分為幾何光學(xué)原理型和物理光學(xué)原理型兩種。幾何光學(xué)探針利用像面共軛特性來(lái)檢測(cè)表面形貌，有共焦顯微鏡和離焦檢測(cè)兩種方法:物理光學(xué)探針利用干涉原理通過(guò)測(cè)量程差來(lái)檢測(cè)表面形貌，有外差干涉和微分干涉兩種方法。光學(xué)探針是非接觸測(cè)量，但需要一套高精度的調(diào)焦系統(tǒng)。

干涉顯微測(cè)量方法:干涉顯微測(cè)量方法利用光波干涉原理測(cè)量表面輪廓。與探針式測(cè)量方法不同的是,它不是單個(gè)聚焦光斑式的掃描測(cè)量，而是多采樣點(diǎn)同時(shí)測(cè)量。干涉顯微測(cè)量方法能同時(shí)測(cè)量--個(gè)面上的表面形貌，橫向分辨率取決于顯微鏡數(shù)值孔徑，一般在pum或亞pum量級(jí);橫向測(cè)量范圍取決于顯微鏡視場(chǎng)，大小在mm量級(jí):縱向分辨率取決于干涉測(cè)量方法，一般可達(dá)nm或0.1nm量級(jí):縱向測(cè)量范圍在波長(zhǎng)量級(jí)。因此干涉顯微測(cè)量方法比較適宜于測(cè)量結(jié)構(gòu)單元尺寸在pum量級(jí)，表面尺寸在mm或亞m量級(jí)的微結(jié)構(gòu)。
深圳市啟威測(cè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司專注于表面微觀形貌SEM,材料斷口觀察SEM,表面成分分析EDS,微量污染物成分分析,涂鍍層厚度測(cè)試,表面粗糙度量測(cè)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 表面成分分析需要的工具有哪些？

  表面成分分析工具化學(xué)抽提法微譜技術(shù)實(shí)拍--氣相色譜儀微譜技術(shù)實(shí)拍--氣相色譜儀XRF法GC-MSLC-MSICP-MS核磁ICGPCXRD等金屬材料測(cè)試常用方法濕法分析直讀光譜（OES）電感耦合等離子體放射光譜（ICP-AES）電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）原子吸收光譜（AAS）手持式XRF

• 聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應(yīng)用

  焦離子束工作原理：? 聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負(fù)電場(chǎng)?(Extractor)?牽引**細(xì)小的鎵原子，而導(dǎo)出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過(guò)一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過(guò)二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來(lái)進(jìn)行特定圖案的加工，一般單粒子束的FIB(Single Beam FIB)，可以提供材料切割、沉積金屬、

• SEM及EDS測(cè)試范圍有哪些？

  SEM的二次電子成像分辨率約3nm背散射電子成像分辨率約300nmEDS成分分析的元素范圍Be~U分析深度約1μm檢測(cè)下限約1%空間分辨率約1μmSEM+?EDS常規(guī)服務(wù)項(xiàng)目:各種固體材料的形貌分析微區(qū)化學(xué)成分檢測(cè)樣品成分的線分布和面分布分析機(jī)械探針式測(cè)量方法:探針式輪廓儀測(cè)量范圍大，測(cè)量精度高，但它是一種點(diǎn)掃描測(cè)量，測(cè)量費(fèi)時(shí)。機(jī)械探針式測(cè)量方法是開(kāi)發(fā)較早、研究充分的一一種表面輪廓測(cè)量方

• 什么是表面微觀形貌SEM？

  表面所具有的微觀幾何形狀統(tǒng)稱為表面形貌(surface?topography)，?其中表面被定義為-?-種材料與其它材料之間的分界面"?(在工程表面的情況下，一種材料是空氣，另-種為固體材料，例如金屬、塑料等)。固體表面是指固體上代表實(shí)體和周圍環(huán)境邊界的部分。工程表面形貌代表著工件表面的主要外部特征，是由加工過(guò)程中的各種工序產(chǎn)生的。一個(gè)制件表面的微觀幾何形貌