閑置二手單晶硅生長爐安裝步驟

時(shí)間：2020-03-21作者：梁山鑫澳機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：39

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頭軟波紋管等其他部件組成?副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成?爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗抽真空管道組成?爐筒：包括取光孔?下爐筒：包括抽真空管道?底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)


架和底座?坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體電機(jī)坩堝支撐軸減速機(jī)軟波紋管立柱上下傳動(dòng)支撐架導(dǎo)軌等部件組成?分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管水管卡套等?氬氣管道


布置：質(zhì)量流量計(jì)3根以上的柔性管不銹鋼管3個(gè)壓力探測(cè)器高密封性卡套等部件?真空泵已經(jīng)真空除塵裝置：油壓真空泵水環(huán)真空泵過濾器真空管道硬波紋管等?電源以及電控柜：電源柜濾波


柜控制柜以及連接線 
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。 
單晶爐是采用直拉法生產(chǎn)單晶硅的主要設(shè)備，全稱為單晶硅直拉法生產(chǎn)爐，簡(jiǎn)稱為單晶爐，
單晶爐是一個(gè)較其復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，它不僅有加熱熔硅、保溫和恒溫、等速平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)以及等速提拉的功能，而且還有控制單晶硅等徑生長、保證生產(chǎn)出的單晶硅不出現(xiàn)位錯(cuò)缺陷以及良好的真空度


和氬氣保護(hù)的功能。





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