衍射激光分束器在眾多工業(yè)和研究中使用,其典型的領(lǐng)域有:激光劃片(如太陽能電池或面板中的劃片),激光切割,激光顯示器。與其同類的產(chǎn)品還有衍射多線陣列DOE,即得到的是一個1×M的線陣列而不是1×M的點(diǎn)陣列,線陣列的長度可以通過DOE表面的衍射圖樣來設(shè)計(jì)。
激光分束器的操作原理
準(zhǔn)直的入射激光光束經(jīng)過分束器DOE,輸出光束會以特定的分離角度射出,這個特定的分離角度是根據(jù)客戶要求而設(shè)計(jì)的(如圖1),并且分離角度較其精準(zhǔn),誤差小于0.03mRad,光束的分離是為遠(yuǎn)場設(shè)計(jì)的,因此隨著光束在通過DOE之后逐漸分離開來,使輸出光束變得較加清晰。
圖1 激光衍射分束器的基本設(shè)置
由圖1可以看出,對于具有奇數(shù)個輸出光束的分束器,分離角是0階光束和+1階光束之間的角度,0階光束是所需的輸出光束,處于被激活狀態(tài)。對于偶數(shù)個輸出束的分束器,分離角是+1階光束和-1階光束之間的角度,此時0階光束不是所需的光束,處于未被激活狀態(tài)。但是,通過HoloOr設(shè)計(jì)定制的激光衍射分束器能夠激活或停用任何階次。
帶聚焦鏡的激光衍射分束器
通常,客戶需要在特定距離處生成聚焦良好的光斑。這可以通過在分束器DOE之后添加一個聚焦透鏡輕松實(shí)現(xiàn),該透鏡的后焦距(BFL)確定了到焦平面(加工面)的工作距離(WD),如圖2顯示的是三個光束的例子。
圖2 帶聚焦鏡的激光衍射分束器
因此我們可以選擇合適的聚焦鏡,利用簡單的數(shù)學(xué)關(guān)系有如下等式:
其中D是相鄰兩個階的輸出光束距離,WD是工作距離,α是相鄰兩個階次的輸出光束之間的發(fā)散角。
焦平面上的輸出光束光斑直徑有如下公式:
其中L是工作距離,λ是入射激光波長,D是入射激光直徑,M2是入射激光質(zhì)量因子。
分束器的注意事項(xiàng)與限制
在輸出雙光束的分束器配置中,由于物理限制,功率效率能達(dá)到近80%,而兩階蝕刻的多光束(輸出光束數(shù)量> 2)配置的功率效率可以達(dá)到近85%,而多階蝕刻的衍射分束器則可以達(dá)到近95%。剩余功率分配在其他不需要的階次光束中。
只有在衍射圖案的較小特征尺寸不是那么小的情況下才值得進(jìn)行多級蝕刻。如果太小,則制造公差可能會將效率級別降低到接近二進(jìn)制級別。較小特征尺寸是分束器總發(fā)散角度和波長的函數(shù)。
能量分配可以是輸出的多光束之間能量均勻,也可以是滿足應(yīng)用要求的光束之間能量不均勻分配。
通常,在項(xiàng)目初始測試階段,用戶可能希望使用設(shè)計(jì)波長與實(shí)際應(yīng)用波長不完全相同的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。在這種情況下,Holo/Or可以為用戶提供實(shí)際波長的預(yù)期性能,因?yàn)閷τ谀骋惶囟ㄐ吞柕姆质?,波長改變后不同衍射階次的能量會重新分配。
較小輸入光束直徑的大小由DOE規(guī)格書的設(shè)計(jì)參數(shù)決定,對于單模激光器,1)奇數(shù)個點(diǎn)分束的情況下,其較小入射光束直徑的大小至少為DOE中周期數(shù)的3倍,2)如果偶數(shù)個點(diǎn)的衍射激光分束器,則入射光束至少為該尺寸的1.5倍。反過來,周期由以下公式給出:
其中Λ為DOE的周期,m為衍射階數(shù),λ為入射激光波長,α為m階衍射光束與光軸之間的夾角。
公差范圍
在衍射激光分束器的零階方向,不存在衍射效應(yīng),光束只遵循較基本的反射和折射定律。
在奇數(shù)個輸出光束中,與偶數(shù)個輸出光束不同,“零階”是必需輸出光束之一,如圖3所示。在制造過程中產(chǎn)生的公差可能會導(dǎo)致零階強(qiáng)度與理論模擬值稍有不同;同樣,均勻性和效率也會略有不同。對于任何特定的設(shè)計(jì),可以根據(jù)客戶的要求將期望值提供給客戶。
圖3 零階光束情況
在我們的標(biāo)準(zhǔn)多光束分束器列表中,零階能量將顯示為偶數(shù)多光束的輸入光束能量的百分比(假設(shè)傳輸效率為100%),以及奇數(shù)多光束的其他所需階能量平均的百分比,如圖4所示。
圖4 零階能量顯示
在圖4中,某些制造誤差后的零階能量在一維光束陣列1×6(左圖)的情況下為輸入光束的1.57%,在一維光束陣列1×7(右圖)的情況下,其他所需階數(shù)的平均能量為74.9%。
請注意,對于具有非常大的光束數(shù)量(大約光束數(shù)量> 400)的元件,零階將顯示為輸入光束功率的百分比,而不是相對于其他階數(shù)的百分比。
零件編號(PN)的代碼:我們元件的PN以下列格式構(gòu)建:AB-000-C-D-E。
最后一個字母E(在奇數(shù)多點(diǎn)和三重點(diǎn)的情況下)是指示零階的代碼。
選項(xiàng)列表:
A:0-100%之間的零階
N:50-100%之間的零階
L:0-50%之間的零階
X:特定于每個多點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)零階
S:自定義零序
深圳維爾克斯光電有限公司專注于激光防護(hù)鏡,衍射光學(xué)元件,DOE等, 歡迎致電 18926463275
詞條
詞條說明
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