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用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣,如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大,從而使羅茨真空泵過載,如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵,用前級泵將系統(tǒng)內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵,如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真空機組在一般情況下,選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵較為有利,這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽,特別是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠,或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能,或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候較為明顯。
機組類型
羅茨泵-水環(huán)泵機組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯合機組,大致有如下幾種類型
羅茨泵-水環(huán)泵
機組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預備真空,因此要求該水環(huán)泵的允許排氣壓力,即是說,一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空,另一方面,也要設法提高羅茨泵的允許排氣壓力。
一般情況,單級水環(huán)泵極限真空度不高,而目前我國生產的羅茨泵要求的預真空又較高,故實際上不用單級水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵,而用能提高極限真空度的雙級水環(huán)泵作為前級泵使用,采用雙級水環(huán)泵,還可以提高機組的極限真空度。
一臺羅茨泵的極限真空度是較低的,特別是當它與水環(huán)泵組合運行時,使用范圍受到限制,整個機組的極限真空度可能較低,但若用兩臺羅茨泵串聯再與水環(huán)泵組合,就能大大提高機組的極限真空度。
故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯后再用雙級水環(huán)泵作前級泵組成機組。
羅茨泵-水環(huán)泵-大氣泵機組
即使采用雙級水環(huán)泵,極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內,這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響,實際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度,還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。
這樣,串聯一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合,則極限真空可達2~10Torr。
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