處理幾臺二手單晶硅生長爐特征

時間：2020-05-18

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安裝盤減速機籽晶腔劃線環(huán)電機磁流體籽晶稱重頭軟波紋管等其他部件組成?副室

：主要是副室筒以及上下法蘭組成?爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗抽真空

管道組成?爐筒：包括取光孔?下爐筒：包括抽真空管道?底座機架：全鑄鐵機架和

底座?坩堝下傳動裝置：主要由磁流體電機坩堝支撐軸減速機軟波紋管立柱上下傳

動支撐架導軌等部件組成?分水器已經水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠

管水管卡套等?氬氣管道布置：質量流量計3根以上的柔性管不銹鋼管3個壓力探測

器高密封性卡套等部件?真空泵已經真空除塵裝置：油壓真空泵水環(huán)真空泵過濾器

真空管道硬波紋管等?電源以及電控柜：電源柜濾波柜控制柜以及連接線
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法

生長無錯位單晶的設備。
單晶爐是采用直拉法生產單晶硅的主要設備，全稱為單晶硅直拉法生產爐，簡稱為

單晶爐，

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詞條說明
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