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旋片式真空泵真空度下降原因
1、這次加的旋片式真空泵油的牌號和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號,由于不同牌號油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣,所以其的結(jié)果是不一樣的。解決辦法:根據(jù)產(chǎn)品的型號規(guī)格更換正確的新真空泵油。
2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況,就是真空泵油乳化變色,或者過臟。解決辦法:放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油,更換同類型的真空泵油,并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)。
3、被抽氣體的溫度可能過高。解決辦法:降低被抽氣體的溫度,或可以加一個相應(yīng)的換熱器。
4、泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決辦法:檢查油路是否暢通,并加同類型的真空泵油。
5、配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,造成旋片式真空泵和定子之間磨損后的間隙增大。解決辦法:檢查間隙是否過大,更換新的零部件。
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詞條說明
【負(fù)壓真空泵機(jī)組】有關(guān)真空泵選型的技術(shù)參數(shù)
有關(guān)真空泵選型的技術(shù)參數(shù)1、工藝要求達(dá)到的真空度真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要**真空設(shè)備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如:真空工藝要求100pa(**壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求**壓強(qiáng)**3300Pa,則**選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果**壓強(qiáng)要求**3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或較高真空級別
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
杭州旋片真空泵-旋片真空泵維修使用持久 旋片式真空泵真空度下降原因 1、這次加的旋片式真空泵油的牌號和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號,由于不同牌號油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣,所以其的結(jié)果是不一樣的。解決辦法:根據(jù)產(chǎn)品的型號規(guī)格更換正確的新真空泵油。 2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況,就是真空泵油乳化變色,或者過臟。解決辦法:放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油,更換同類型的真空泵油,并解決被抽氣體中
【硫化機(jī)真空泵】真空泵耐腐蝕的理論基礎(chǔ)和市場產(chǎn)品局限性分析
不銹鋼真空泵耐腐蝕的理論基礎(chǔ)和市場產(chǎn)品局限性真空泵耐腐蝕為什么這么難?一、腐蝕種類多種多樣,化學(xué)、電化學(xué)腐蝕和物理腐蝕并存首先,真空泵大多是用金屬材料制作而成,而金屬耐腐蝕卻是**的弱勢,引用《腐蝕手冊》的話來說,腐蝕是材料在環(huán)境的作用下引發(fā)的破壞,其種類多種多樣。在泵運(yùn)行環(huán)境下,金屬材料要受到化學(xué)、電化學(xué)、物理多種交叉腐蝕,而且一個都不少?!糜媒饘俨牧闲枰鎸Φ母g種類物理腐蝕指的主要是氣蝕,
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