美國Aerotech振鏡AGV14SPO

時間：2021-05-19作者：天津瑞利光電科技有限公司瀏覽：46

產(chǎn)品介紹：

比傳統(tǒng)的2D掃描儀較大的視野簡化了對較大零件的處理

在整個視場中將光斑失真降至較低，從而將高質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至較低

空氣和水冷卻選項提供熱穩(wěn)定性并提高長期精度

適用于各種激光波長的多種鏡面處理選擇

Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計掃描儀提供了傳統(tǒng)兩鏡振鏡掃描儀的替代產(chǎn)品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀，可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供較大的視野并減少點畸變。

大視野，光斑失真較小

*特的光學(xué)設(shè)計可有效控制光束入射光瞳，使其與X和Y掃描儀運動保持一致，從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計直接為給定的焦距提供了較大的視野，并減少了整個工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢意味著AGV-SPO能夠較快，較一致地處理大型零件。

設(shè)計配置

AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件，以支持各種常用的激光波長和焦距。為了滿足其他需求，Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡，水冷電機(jī)或兩者。這些主動冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運動的情況下，保持工作平面的準(zhǔn)確性。

編程功能

AGV-SPO利用了Aerotech的所有運動和位置同步輸出（PSO）功能，這些功能是針對具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺的激光加工應(yīng)用開發(fā)的。諸如“加速限制”之類的輪廓功能可用于自動降低急轉(zhuǎn)彎或小半徑時的速度，以大程度地減小過沖?？梢曰趲в?span>PSO的反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光，以確保在掃描儀改變速度時始終保持一致的光斑重疊。Aerotech的無限視場（IFOV）功能無縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運動，從而在整個伺服平臺的整個行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記功能，從而消除了在較傳統(tǒng)的移動重復(fù)曝光過程中可能發(fā)生的縫合錯誤。

參數(shù)：

光束孔徑：14 mm

掃描角度：max.±20°

光束位移：35 mm

抖動（增量運動min.）：0.3 μradRMS

精度：50 μrad pk-pk

重復(fù)性：0.6 μradRMS

增益誤差：0.05 mrad

非線性：0.005％

跟蹤誤差：0 μsec

峰值加速度：60,000 m/s²

連續(xù)加速：20,000 m/s²

定位速度：50 m/s

處理速度：5 m/s⁵

跳躍和穩(wěn)定時間，移動1 mm：700 μsec

穩(wěn)定性

長期漂移

偏移：10 μrad/12 hrs

15 μrad/24 hrs

增益：10 ppm/24 hrs

熱漂移

偏移：20 μrad/°C

增益：1 ppm/°C

材料：鋁（黑色陽極氧化和藍(lán)色噴漆）

MTBF（平均無故障時間）：20,000

重量：5.1 kg


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