FORMFACTOR自主硅光子測量助手Autonomous SiPh

時間：2022-07-13作者：天津賽力斯自動化科技有限公司瀏覽：98

產(chǎn)品名稱：FORMFACTOR自主硅光子測量助手Autonomous SiPh
產(chǎn)品型號：Autonomous SiPh
產(chǎn)品介紹


FormFactor 的自主硅光子測量助手設(shè)定了晶圓和芯片級硅光子探測的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。這種高度靈活的解決方案提供了多種測試技術(shù)，從單光纖到陣列，從垂直耦合到邊緣耦合。憑借用于校準(zhǔn)的全新革命性 OptoVue、智能機(jī)器視覺算法和適用于黑暗、屏蔽和無霜環(huán)境的SiPh TopHat，該系統(tǒng)可在多個溫度下實現(xiàn)免提自主校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)。這樣可以快地進(jìn)行準(zhǔn)確的測量并降低測試成本。
使用單根光纖和光纖陣列作為探針將光耦合進(jìn)出晶圓以進(jìn)行表面和邊緣耦合，這帶來了許多挑戰(zhàn)，F(xiàn)ormFactor 通過其接觸智能技術(shù)進(jìn)行管理。與電氣測試不同，光學(xué)測試使用的光纖和光纖陣列不接觸其相應(yīng)的“焊盤”，即晶圓表面和邊緣上的光柵耦合器或小平面。
使用**的圖像處理和專門開發(fā)的算法，Z 高度設(shè)置、光纖到小平面間隙以及探針臺定位解決方案的一套自動校準(zhǔn)可用。
FormFactor 還實施了 Z 位移傳感技術(shù)，該技術(shù)可在裸片到裸片步進(jìn)時實現(xiàn)纖維和陣列的準(zhǔn)確亞微米級放置精度。這些自動化光學(xué)功能還可以與可編程直流和射頻定位技術(shù)相結(jié)合，以創(chuàng)建自動化的光-光、光-電和光-電-光測試平臺。
對于光學(xué)應(yīng)用，Contact Intelligence 將過去需要數(shù)天、數(shù)周或數(shù)月的時間縮短到幾分鐘，同時在動態(tài)工程環(huán)境和穩(wěn)定的可重復(fù)生產(chǎn)環(huán)境中提供靈活性。
自主硅光子測量助手可用于以下 200 毫米和 300 毫米探針臺：CM300xi-SiPh 和 SUMMIT200。


性能特點


視光
? 晶圓和芯片級光子學(xué)探測的技術(shù)進(jìn)步
? 實時原位校準(zhǔn)
? 單片測試
? 芯片級邊緣耦合
? 原位功率測量
? 校準(zhǔn)技術(shù)
? 實現(xiàn)自主測量
水平芯片級邊緣耦合
? 測試結(jié)果的高準(zhǔn)確度
? 低耦合損耗
? 由于自動光纖到面對準(zhǔn)技術(shù)，可重復(fù)測量結(jié)果
? 使用防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險
? 易于經(jīng)驗不足的用戶使用
? 以接近應(yīng)用的設(shè)備性能實現(xiàn)對真實世界條件的密切模擬
晶圓級邊緣耦合
? 新的硬件和軟件功能的創(chuàng)新組合，用于對齊和優(yōu)化晶圓級溝槽中的光纖/陣列
? 以小溝槽尺寸小化耦合損耗
? 即使對于經(jīng)驗不足的用戶也能輕松設(shè)置
? 由于光纖到面間隙對準(zhǔn)技術(shù)，可重復(fù)測量結(jié)果
? 使用防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險
垂直聯(lián)軸器
? 垂直耦合到晶圓級光柵耦合器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
? 定位硬件針對探針臺進(jìn)行了準(zhǔn)確校準(zhǔn)，并準(zhǔn)備在幾分鐘內(nèi)執(zhí)行芯片到芯片的光學(xué)優(yōu)化
? Search First Light 功能可自動確定初始位置以進(jìn)行優(yōu)化
? 其他集成功能：入射角校準(zhǔn)、光學(xué)旋轉(zhuǎn)掃描、光學(xué)掃描數(shù)據(jù)分析、光學(xué)跟蹤、對準(zhǔn)光學(xué)探頭
散熱能力
? 黑暗、屏蔽和無霜
? -40°C 至 +125°C
? 可用的解決方案是在低溫下大限度地減少氣流對光纖/光纖陣列的影響，從而獲得穩(wěn)定且可重復(fù)的測量結(jié)果
? ITO 涂層 TopHat 窗口，易于設(shè)置
? 在多個溫度下實現(xiàn)免提自主校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)
自動校準(zhǔn)
? 一組開創(chuàng)性的自動化功能，可對探針臺的光學(xué)定位系統(tǒng)進(jìn)行關(guān)鍵校準(zhǔn)
? 逐步晶圓探測高度訓(xùn)練
? CalVue 利用后視鏡技術(shù)在沒有外部光線的情況下查看光纖/陣列的所有方面，并實現(xiàn)實時原位自動校準(zhǔn)
? 多專屬校準(zhǔn)功能：電機(jī)校準(zhǔn)、z-位移校準(zhǔn)、theta 校準(zhǔn)、pzt 校準(zhǔn)、平面度校準(zhǔn)、自動樞軸點校準(zhǔn)
經(jīng)驗證的性能
? FormFactor 開發(fā)的自動化測試方法
? 通過測量耦合功率可重復(fù)性，展示針對探針臺校準(zhǔn)的定位解決方案的全部性能
? 驗證 900 次測量中的耦合功率結(jié)果是否小于 0.3 dB
? 在每次測量之間，移動所有溶液元件，包括晶片卡盤、六足平臺和壓電平臺
? 展示了 FormFactor 自主硅光子測量助手的集成性能和穩(wěn)健性
FormFactor SiPh 工具
? 強(qiáng)大的 FormFactor 開發(fā)的軟件包
? 包括用于啟用和促進(jìn)光學(xué)探測的大量工具集
? 通過將探針臺機(jī)器視覺功能與光學(xué)定位和測試設(shè)備集成，自動執(zhí)行手動任務(wù)
? 功能：測量位置培訓(xùn)、晶圓培訓(xùn)、自動對準(zhǔn)功能、校準(zhǔn)晶圓驗證、光學(xué)對準(zhǔn)驗證、子模具管理
? 用于捕獲、記錄和解釋數(shù)據(jù)的廣泛工具
FormFactor 光子控制器接口 (PCI)
? FormFactor 開發(fā)的圖形用戶界面，用于手動控制光學(xué)定位系統(tǒng)
? 還可用于設(shè)置掃描參數(shù)配置和執(zhí)行初始光學(xué)對準(zhǔn)功能
? 校準(zhǔn)后，所有校準(zhǔn)功能都將通過 SiPh-Tools 自動執(zhí)行
可重構(gòu)光纖臂
? 可在單光纖、光纖陣列和邊緣耦合支架之間進(jìn)行配置
? 工程和體積環(huán)境的靈活性
? 換光纖支架后，F(xiàn)ormFactor 的自動校準(zhǔn)程序?qū)⒆屇趲追昼妰?nèi)恢復(fù)運行
? 定制設(shè)計的納米精度集成 Z 位移傳感器大限度地擴(kuò)大了晶圓的可測試區(qū)域，并保證了準(zhǔn)確和可重復(fù)的數(shù)據(jù)收集


選型指南
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)
可選功能與配件
技術(shù)參數(shù)


CalVue 
? Z 位移和光學(xué)定位的原位校準(zhǔn)
PowerVue
? 功率測量高達(dá) 40 mW
? 啟用現(xiàn)場功率測量
? 單纖和光纖陣列測量面
ProbeVue
單光纖、光纖陣列、DC 和 RF 探頭的向上看探頭檢查功能
從角找到初始陣列耦合偏移位置
DieVue
? 單片測試
? 高達(dá) 25 x 25 毫米的芯片
? 真空保護(hù)
? 可定制的模座
? 垂直和邊緣耦合

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• 詞條

  詞條說明

• W+S編碼器AS580

  產(chǎn)品名稱：W+S編碼器AS580產(chǎn)品型號：AS580性能特點-設(shè)計堅固-防護(hù)等級 IP 65-所有分度高達(dá) 13 位 (8192)?-8 至 30 V，RS 422A 兼容-格雷碼或二進(jìn)制碼參數(shù)：電氣數(shù)據(jù)-電源：5 V 或 8-30 V DC-電流消耗：max 100 mA-輸出電路：推挽，RS 422A兼容-頻率 ： LSB 中max 50 kHz?-信號電平（高）：Ub -

• Celeroton電機(jī)CM-AMB-400

  ?產(chǎn)品名稱：Celeroton電機(jī)CM-AMB-400產(chǎn)品型號：CM-AMB-400產(chǎn)品介紹：由于高轉(zhuǎn)速，我們的電機(jī)設(shè)計具有小的體積和重量。特殊的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)可承受高的負(fù)載/應(yīng)力，并使高速成為可能。優(yōu)化的定子繞組和高頻疊片磁軛完善了電機(jī)。不斷改進(jìn)的電機(jī)設(shè)計和優(yōu)化工具可確保高水平的效率。盡管速度很高，但我們的電機(jī)通常能達(dá)到比同類低頻電機(jī)高的效率水平。轉(zhuǎn)子和定子中產(chǎn)生的熱量很低。根據(jù)應(yīng)用和環(huán)境

• WEBTEC-渦輪流量計-CT SAE J1939 CAN

  產(chǎn)品名稱：WEBTEC-渦輪流量計-CT SAE J1939 CAN產(chǎn)品型號：CT15-J19-B-B-6?產(chǎn)品介紹：具有 J1939 兼容輸出的 CT 渦輪流量計系列為測量液壓系統(tǒng)中的流量和溫度提供了方便的解決方案。流量計可以安裝在液壓回路中的任何位置控制系統(tǒng)的生產(chǎn)測試、調(diào)試、開發(fā)測試和分析。 通過在 CTR 儀表上添加手動加載閥，可以模擬和監(jiān)控進(jìn)一步的測試場景，例如泵效率。具有 J1

• SIGNAL HOUND-頻譜分析儀-USB-SA44B

  ?產(chǎn)品名稱：SIGNAL HOUND-頻譜分析儀-USB-SA44B產(chǎn)品型號：USB-SA44B產(chǎn)品介紹：Signal Hound USB-SA44B 是一款 USB 供電的 1Hz 至 4.4GHz 經(jīng)濟(jì)型頻譜分析儀和測量接收機(jī)。 Signal Hound SA44B 具有您所期望的靈敏度、準(zhǔn)確度和動態(tài)范圍，是其成本的數(shù)倍。 Signal Hound SA44B 由 USB 電纜供電，