BROOKS流量控制器GP200系列

時間：2023-01-12

產(chǎn)品名稱：BROOKS流量控制器GP200系列

產(chǎn)品型號：GP200系列

產(chǎn)品介紹：

GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導體制造中的**蝕刻和沉積工藝而設計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復雜性和擁有成本，因為它了對壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。

性能特點：

?較低的入口壓力操作

?下游閥結構

?匹配的瞬態(tài)響應

?零泄漏控制閥

?本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址

?通過匹配和補償兩個獨立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術降低了測量不確定性，從而提高了精度、可重復性和漂移性能。

?由于 GP200 差壓傳感器專門針對低壓差測量進行了優(yōu)化，現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實現(xiàn)較安全的工廠操作。

?下游閥門結構確保精度獨立于下游壓力，使流量能夠在高達 1200 Torr 的壓力下輸送?？焖訇P閉閥解決了非生產(chǎn)性配方等待時間或“尾部效應”，這在上游 MFC 閥門設計中可見，需要額外的時間來排出其內(nèi)部氣體體積。

?快、高度可重復的上升和下降流動穩(wěn)定時間可在**的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實現(xiàn)較嚴格的工藝控制。

?閥門關閉性能提高 100 倍

?借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通?？梢园?3:1 的比例重新縮小，而不會影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏，從而實現(xiàn)工藝和庫存靈活性

?方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監(jiān)控和故障排除

參數(shù)：

性能：

?流量范圍（滿量程）：3 sccm - 50,000 sccm

?準確性：

零泄漏閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（0.5-5％F.S.）

金屬密封閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（2-5％F.S.）

?可重復性：<±0.15％S.P.

?響應時間：280±20 ms匹配的瞬態(tài)響應，對于任何上升或下降的非零設**

?多氣和范圍可配置性：MultiFlo標準

?控制范圍：

零泄漏閥：0.5-100％F.S。

金屬密封閥：2-100％F.S。

?零穩(wěn)定性：<±0.15％F.S每年

?流動溫度系數(shù)：

零：0.005％F.S 每°C

跨度：0.05％S.P.每°C

機械參數(shù)：

?密封材料：金屬

?純度 /表面飾面：5μ inch Ra avg

?接液材料：316L

Hastelloy C-22

316/316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

PCTFE

?閥門選項：通常關閉

?max溫度：60℃

?壓差范圍：

min：7 psid

max：50 psid

?max壓力：150 psia

4007651288

詞條
詞條說明
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