【上海普旭真空泵】日常維護(hù)須知
1、普旭真空泵定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。
2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。
3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。
4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達(dá)到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時小心對待。
5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材質(zhì),質(zhì)地較軟,變形或彎曲時只要不漏油均可安全使用。當(dāng)彎曲度達(dá)到一定的角度時,會對油路產(chǎn)生阻力,降低散熱效果。可小心的將油管恢復(fù)原來形狀。當(dāng)在恢復(fù)后,
發(fā)生穿孔漏油現(xiàn)象,請及時換。
詞條
詞條說明
真空泵不能啟動:主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動運(yùn)轉(zhuǎn)。這時應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎?。在排除電路部分的故障后,?yīng)考慮以下兩個因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線圈
【旋片真空泵配件】氣鎮(zhèn)閥的作用旋片真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一 個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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