壓強(qiáng)范圍
真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍(Pa) 起動(dòng)壓強(qiáng)(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
詞條
詞條說明
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴(yán)重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴(yán)重失效,可換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時(shí)間沒有進(jìn)行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、泵腔
真空泵的安裝1、安裝安裝場(chǎng)所寬闊、采光良好,空氣的相對(duì)濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時(shí),表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請(qǐng)確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時(shí),管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣法蘭
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止
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