【工業(yè)真空泵】按性能特點(diǎn)和用途和分類(lèi)



    按性能特點(diǎn)和用途分類(lèi)


    (1)低真空泵


    泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。


    (2)中真空泵


    極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。


    (3)高真空泵


    極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。


    (4)**高真空泵


    極限壓力**10-5Pa的真空泵屬于**高真空泵。**高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。



    按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類(lèi)


    (1)機(jī)械式容積真空泵


    靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類(lèi)泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類(lèi)泵中除機(jī)械增壓泵外,一般均可單獨(dú)使用。


    (2)射流式真空泵


    沒(méi)**械運(yùn)動(dòng)部件,主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空的是射流式真空泵。屬于這類(lèi)泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類(lèi)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,工作可靠,壽命長(zhǎng),易于維修,應(yīng)用比較普遍。



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