【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

時(shí)間：2021-09-23作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：48

羅茨泵工作原理

分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)*發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場(chǎng)合的需要。

干泵 國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的*發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

水環(huán)泵 水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門(mén)。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。


上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司專注于上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 【上海單級(jí)旋片真空泵】XD旋片式真空泵概述及工作原理

  一、XD旋片式真空泵概述XD單級(jí)旋片式真空泵為單級(jí)聯(lián)軸式結(jié)構(gòu)，它的工作性能是高轉(zhuǎn)速，低噪聲，抽速快，效率高，泵只需空氣冷卻，有防返油結(jié)構(gòu)，防止泵油返入被抽系統(tǒng)，泵內(nèi)裝有排氣過(guò)濾器，有效消除油霧，運(yùn)轉(zhuǎn)平衡，振動(dòng)小，可以在任意壓強(qiáng)下工作。技術(shù)參數(shù)2×10-2，已普遍適用食品真空包裝，醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送，玻璃工業(yè)輸送，真空夾具，干燥等單位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蝕性氣體。如連續(xù)長(zhǎng)

• 【山西旋片式真空泵】真空泵主要使用范圍

  【山西旋片式真空泵】真空泵主要使用范圍旋片式真空泵適合于多種工業(yè)應(yīng)用產(chǎn)品應(yīng)用1、電子、半導(dǎo)體2、太陽(yáng)能3、環(huán)保4、包裝5、工業(yè)應(yīng)用6、氣力輸送7、印刷和造紙8、制冷，空調(diào)及通風(fēng)系統(tǒng)9、紡織10、木工

• 【旋片式真空泵維修】旋片式真空泵維修方法

  旋片式真空泵維修方法：1、在進(jìn)行真空泵維修之前，準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。2、判斷故障，確診故障。判斷準(zhǔn)，可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障，先簡(jiǎn)后繁，先易后難。無(wú)須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷，減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說(shuō)，拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵，應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗，并告知必要的防護(hù)措施，以**維修人員的健

• 單級(jí)真空泵 真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些

  真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些？1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無(wú)漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體，這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣