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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運轉(zhuǎn)時幾乎沒有振動一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運的泵不帶油。安裝后,通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見保養(yǎng)、維修1)到油
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應(yīng)補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關(guān)閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對,則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
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