普旭真空泵排除方法:
(1)如泵的轉速不夠,且抽氣量是與泵的轉速成正比,則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可更換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊,皮帶打滑而降低了轉速,這可調(diào)節(jié)電機位置,使皮帶張到一定緊度。
(2)查明何處漏氣,如是連接法蘭處漏氣,則可能是由于連接螺釘松動,墊圈壓破變質(zhì)或者是法蘭面加工不平;如是在軸封處漏氣,則有可能是密封皮碗未裝正或破裂,此時則更換皮碗并裝正;若是填料密封的,可將扎進的填料掏出,更換新的,但填料的接口必須是斜面而互相搭接服貼,的接口必須與*二圈的接口錯開,不能在同一位置上。
(3)若轉子與轉子型面間的間隙不均勻,在轉圈中處間隙大,另一處間隙小,這由于在裝配時同步齒輪的嚙合狀況未調(diào)整好,則這對同步齒輪之一的齒輪作輪轂固定,另一個齒輪的輪轂做成可以調(diào)節(jié)的,因為兩轉子的外型是共軛曲面,要互相正常嚙合。與此同時,外端的傳動齒輪(同步齒輪)也要處于正常嚙合狀態(tài),這樣輻子才能正常傳動。否則,即使能轉動,也可能出現(xiàn)在轉冠中,兩轉子間的間隙時大時小。
在這種狀態(tài)下,將可調(diào)齒輪連接輪轂的螺釘擰松并拔出定位銷釘,進行調(diào)節(jié),便轉子的嚙合和齒輪的嚙合同時達到正常嚙合狀態(tài),這時各處間隙就均勻了,重新擰緊螺釘,重鉸銷釘孔并裝上銷釘定位。倘如轉子外徑與泵殼的間隙某處過大,則可擰松端蓋與泵殼的連接螺釘,拔出定位銷,進行調(diào)節(jié),待各處間隙都均勻了,再擰緊螺釘,重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔并裝上錐銷。
(4)環(huán)境溫度升高則抽氣量就會降低,針對這種情況,盡量將注入水溫降低。
2 故障現(xiàn)象:真空度不夠高
產(chǎn)生原因:
(1)進氣系統(tǒng)密封不嚴,有漏氣現(xiàn)象;
(2)泵本身密封不嚴,在軸封處漏氣;
(3)轉子與轉子或轉子與殼體的間隙過大,空氣溫度過高
(4)泵的進出口氣體介質(zhì)的壓力差過大。
真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當?shù)姆绞铰?lián)接,組合成能達到一定真空度要求的裝置。
詞條
詞條說明
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應的電動機不防爆,如要求防爆或其它
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到較佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,
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