HVA 高真空閘閥應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

時(shí)間：2023-05-23作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：84

因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。

HVA 高真空閘閥應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
OLED 鍍膜機(jī)主要面向半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定, 器件效率高, *,

HVA 高真空閘閥應(yīng)用
一般科研用鍍膜機(jī)的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求達(dá)到 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 這時(shí)需要配置分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)高真空度的需求, 所以對于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).

有時(shí)科研設(shè)備并不配置 LOADLOCK, 但出于泵組快速抽空或方便檢修要求, 還是會根據(jù)分子泵的進(jìn)氣口徑來配置高真空閥門隔離系統(tǒng). 上海伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

上圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閘閥, 我司根據(jù)鍍膜系統(tǒng)的自動化要求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動高真空閘閥,
 

上海伯東美國 HVA 高真空閘閥 11000 系列產(chǎn)品

閥門材質(zhì):
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
- **高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, **高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9  mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封	150 °c, 可選配置大 250 °c
- 銅墊圈密封	閥門關(guān)閉 200 °c, 閥門打開 150 °c
- 驅(qū)動方式	手動 60 °c, 氣動 60 °c
- 氣體	80 psig (5.5 bar)
- 電磁	4.0 Watts
- 供電	120 VAC 50 /60 Hz
- 可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz  或 12, 24 VDC
- 位置指示器,大	115 VAC  或 28 VDC, 20 mA
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 16 - 800 mm


鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機(jī)134




伯東企業(yè)（上海）有限公司專注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,inTEST等

• 詞條

  詞條說明

• 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 售后維修服務(wù)

  上海伯東普發(fā) Pfeiffer?售后維修服務(wù)"?無論您想調(diào)試新的真空系統(tǒng), 故障排除, 維護(hù)保養(yǎng)還是維修, 上海伯東都能為您提供全面的支持并在較短的時(shí)間內(nèi)做出響應(yīng)! "伯東企業(yè)（上海）有限公司是德國普發(fā)真空 Pfeiffer Vacuum? 授權(quán)代理商, 隸屬于伯東株式會社, 外國法人資, 集團(tuán)年?duì)I業(yè)額過 10 億美金. 上海伯東自 1995年成立以來, 

• 分子泵組與紅外光譜儀聯(lián)用

  分子泵組與紅外光譜儀聯(lián)用進(jìn)行工業(yè)催化材料分析上海伯東德國 Pfeiffer 經(jīng)濟(jì)型分子泵組?Hicube 80 Eco 可搭配紅外光譜儀共同使用, 進(jìn)行工業(yè)催化的材料分析. 上海伯東客戶某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室, 采用浸漬法進(jìn)行試驗(yàn), 為了提高浸漬量, 需要保證在真空環(huán)境下進(jìn)行, Pfeiffer?分子泵組?Hicube 80 Eco 是前級泵和分子泵的結(jié)合, 體積小巧, 即插即

• 燃料電池儲氫系統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏法

  上海伯東燃料電池儲氫系統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏法氫是一種易于儲存, 運(yùn)輸和使用的能源載體.?在多種工業(yè)領(lǐng)域的脫碳,?以及在行駛距離長,?加油所需時(shí)間短的零排放出行中,?氫技術(shù)都發(fā)揮重要作用.?氫能作為一種清潔能源在燃料電池中的化學(xué)反應(yīng)只產(chǎn)生水,?電和熱.?已被廣泛應(yīng)用于燃料電池電動汽車?FCEV?車載儲氫系統(tǒng), 

• KRi 離子源 e-beam 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)輔助鍍膜應(yīng)用

  上海伯東美國?KRi 考夫曼離子源?e-beam 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)輔助鍍膜應(yīng)用上海伯東美國?KRi 考夫曼離子源?KDC 系列, 通過加熱燈絲產(chǎn)生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 離子源增強(qiáng)設(shè)計(jì)輸出低電流高能量寬束型離子束, 通過同時(shí)的或連續(xù)的離子轟擊表面使原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, 實(shí)現(xiàn)輔助鍍膜 IBAD.?e-beam?電子束蒸