什么是主動(dòng)隔振臺(tái)

時(shí)間：2023-10-18作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：124

隔振技術(shù)可分為被動(dòng)隔振(又稱無源隔振)和主動(dòng)隔振(又稱有源隔振)。被動(dòng)隔振只能對(duì)某一特定的窄頻段振動(dòng)起到衰減作用，而對(duì)于隔振對(duì)象狀態(tài)變化較大和振動(dòng)干擾時(shí)變性較強(qiáng)的場(chǎng)合不太適合;同時(shí)，由于穩(wěn)定性的限制，被動(dòng)隔振也無法對(duì)低頻振動(dòng)進(jìn)行衰減。而主動(dòng)隔振技術(shù)是在被控系統(tǒng)中引入次級(jí)振源，并通過一定的控制方法調(diào)節(jié)次級(jí)振源的輸出，使其產(chǎn)生的振動(dòng)與主振源(干擾)的振動(dòng)相抵消，從而達(dá)到隔振的目的。與被動(dòng)隔振技術(shù)相比，主動(dòng)隔振技術(shù)具有自適應(yīng)性好、可對(duì)低頻振動(dòng)進(jìn)行隔離以及重量輕等優(yōu)點(diǎn)，因而成為隔振技術(shù)的研究熱點(diǎn)。主動(dòng)隔振裝置主要由傳感器、控制器和致動(dòng)器三部分組成，當(dāng)前對(duì)于振動(dòng)主動(dòng)控制研究也主要集中在這三個(gè)方面。

主動(dòng)隔振臺(tái)基本原理：

由于系統(tǒng)中傳感器和致動(dòng)器的配置方式（由傳感器測(cè)試環(huán)境震動(dòng)，經(jīng)過信號(hào)處理系統(tǒng)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)傳遞到致動(dòng)器，由致動(dòng)器產(chǎn)生頻率振幅相同，方向相反的震動(dòng)抵消環(huán)境的振動(dòng)）使得每個(gè)傳感器和致動(dòng)器組的響應(yīng)中耦合了多個(gè)振動(dòng)模態(tài)，因此振動(dòng)控制系統(tǒng)的控制對(duì)象為一個(gè)多模態(tài)耦合的隔振系統(tǒng)。而這又是K&S主動(dòng)隔振臺(tái)的又一大特點(diǎn)，解耦結(jié)構(gòu)。

        K&S主動(dòng)隔振臺(tái)采用對(duì)多個(gè)模態(tài)進(jìn)行解耦控制的方法，將六自由度隔振平臺(tái)的各個(gè)耦合模態(tài)解耦成六個(gè)相互獨(dú)立的模態(tài)，這樣就可以單獨(dú)控制各個(gè)自由度方向的運(yùn)動(dòng)，這種解耦結(jié)構(gòu)K&S廠家正在申請(qǐng)專利中。

K&S六自由度的主動(dòng)隔振臺(tái)應(yīng)用：

K&S主動(dòng)隔振臺(tái)的應(yīng)用包括臺(tái)式顯微鏡、半導(dǎo)體、電子顯微鏡 、IVF等。目前Aris MD主動(dòng)減震平臺(tái)廣泛適用于掃描電子顯微鏡、電鏡顯微鏡AFM、SEM、STM、TEM等領(lǐng)域。




K&S主動(dòng)隔振臺(tái)包含7個(gè)傳感器、8個(gè)電機(jī)，執(zhí)行力矩垂直方向150N、水平方向75N，

并且采用的是多層隔振結(jié)構(gòu)（MVIS-Muti-layer Vibration Structure），

實(shí)際隔振范圍0.5-100Hz，振定時(shí)間≤0.1秒。







K&S主動(dòng)隔振臺(tái)主要特征：

-6個(gè)自由度

K&S主動(dòng)隔振臺(tái)的**大特點(diǎn)是六自由度的隔振，可以通過電子力制動(dòng)器，實(shí)現(xiàn)控制位移量與位移速度，

從而消除X軸方向移動(dòng)、Y軸方向移動(dòng)、Z軸方向移動(dòng)、以X軸為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)、

以Y軸為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)和以Z軸為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)這六個(gè)自由度。

-有源增益從0.5Hz開始 

-可變阻尼（K&S隔振新技術(shù)，正在申請(qǐng)專利）

        這種新結(jié)構(gòu)形式的可變阻尼減振器，增大阻尼能夠有效抑制系統(tǒng)的低頻共振，

盡管較大的阻尼使得系統(tǒng)的高頻隔振性能降低，但是K&S主動(dòng)隔振臺(tái)在2Hz以上的衰減效率仍有90%。

-內(nèi)置人工智能功能

-可通過軟件調(diào)節(jié)有效帶寬

-遠(yuǎn)程控制

-內(nèi)置實(shí)時(shí)診斷工具

K&S主動(dòng)隔振臺(tái)內(nèi)置人工智能功能和實(shí)時(shí)診斷工具（實(shí)時(shí)雙通道頻譜分析儀、實(shí)時(shí)雙通道示波器），

可通過軟件對(duì)帶寬進(jìn)行調(diào)整。




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