HVA 真空閥門應用于E-Beam鍍膜機

時間：2024-01-11

某 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門 11000, HVA 真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統(tǒng)停機時不破壞系統(tǒng)真空, 只要對泵內部進行破真空即可.

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格:

閥門材質:
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差壓關閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 彈性體密封閥蓋	150°C
- 金屬密封閥蓋	-開啟溫度：200°C -關閉值：150°C
- 驅動方式	手動 60 °c, 氣動 60 °c
機制
手動：	手搖曲柄
電磁閥供電電壓	120 VAC 50 /60 Hz
電磁閥可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
電磁閥位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
氣動送風：	80 psig
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)
公稱通徑: DN 16 - 800 mm

E-Beam 鍍膜機設備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子, 進樣室 (可選) , 旋轉基片加熱臺, 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測量, 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成.

基片在做實驗般需要做鍍前預處理, 鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為后獲得高質量鍍層作準備, 要進行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進行射頻反應清洗, 通過使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到光滑和均勻的表面.

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上海伯東 : 羅女士

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