潔凈室FFU系統(tǒng)的應(yīng)用

時間：2016-06-04作者：廣東易兆凈化工程有限公司瀏覽：33

FFU系統(tǒng)的應(yīng)用
3.1當前FFU的情況
FFU在使用壽命及維護上已經(jīng)實踐證明無可擔心。當前其改進主要是：
(1)采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi);
(2)電動機采用DC/EC（電子整流電機），以耗較原交流電機節(jié)約近50%，因為小風機所用小容量（功率<1/2HP）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱較式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75～80%；在調(diào)速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。 
(3)但FF瓣出口靜壓不能過大，一般采用出口風速成0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。
3.2FFU回風系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點
3.2.1一般評價
優(yōu)點：
(1)靈活性大，便于改造；
(2)占用建筑物空間較少；
(3)潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。
缺點：
(1)要求回風道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風道）、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力（在初阻力時），總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運行時較大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風機系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。
(2)采用DC/EC電機后，單位風量的能耗可能比當**般大型離心風機的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進后的大型軸流風機的回風系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。
(3)一般FFU系統(tǒng)由于單位風量的能耗較大，因此潔凈室的冷負荷亦相應(yīng)增加。
3.2.2具體情況下的評價
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率**時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經(jīng)濟的；對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。


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