氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

時間：2013-04-17作者：武漢普斯特科技有限公司瀏覽：236

1、為什么要檢漏

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要**行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏檢查。

  2、泄漏程度的量化

 容器泄漏程度的量化，用泄漏率來表示。漏率的定義

其中：△P 為壓強的變化量

V為容器的體積
△t為時間的變化量

3、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲**出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收較而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

 

 

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• 氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

  1、為什么要檢漏 很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有

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