ERT光譜共焦位移傳感器原理簡(jiǎn)介
1. 一束白光穿過(guò)小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光, 每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。
2. 當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候,一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面,并且反射進(jìn)光 學(xué)系統(tǒng)。
3. 此反射光通過(guò)一個(gè)小孔S,(只有**聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過(guò)這個(gè)小孔),由波 長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng),從而得到其所代表的精確距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng) 的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái),只有 滿足共焦條件的單色光,可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦 點(diǎn)的波 長(zhǎng),換算獲得距離值.
詞條
詞條說(shuō)明
ERT光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測(cè)量和3D形貌測(cè)量等測(cè)量任務(wù) 廣泛應(yīng)用于以下微觀精密測(cè)量領(lǐng)域: ??玻璃(浮法玻璃在線厚度檢測(cè),3D測(cè)量) ??微電子(粗糙度,3D測(cè)量,缺陷檢測(cè)) ??機(jī)械(粗糙度,摩擦磨損,3D測(cè)量,腐蝕分析) ??光學(xué)鏡片(粗糙度,3D測(cè)量) ? 光譜共焦測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)測(cè)量
光譜共焦傳感器的外部觸發(fā)及掃描如何實(shí)現(xiàn)
1、光譜共焦傳感器外部掃描 CCS-100傳感器有一個(gè)重要的特性,實(shí)際上它是一個(gè)點(diǎn)傳感器,換句話說(shuō),在給定時(shí)刻傳感器測(cè)量的是一個(gè)位于其光軸上的單點(diǎn)。為了得到一個(gè)曲線,或者測(cè)量整個(gè)表面,必須用一些外部掃描設(shè)備做輔助,沿著一個(gè)軸或者兩個(gè)軸掃面樣品。一般情況掃描設(shè)備是機(jī)動(dòng)的;在一些情況下它還包含編碼器來(lái)確定任意時(shí)刻樣品的精確位置。 在一些應(yīng)用中傳感器和外部掃描設(shè)備的同步性是一個(gè)重要的問(wèn)題。CCS-10
光譜共焦傳感器的共焦成像基于2個(gè)原則: 1、?共焦成像 2、光軸的色散編碼 共聚焦裝置是一個(gè)光學(xué)裝置,其中光學(xué)系統(tǒng)對(duì)物體表面S源點(diǎn)生成一個(gè)S’的圖像。反射回去的散射光是同一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)匯聚的,這個(gè)光學(xué)系統(tǒng)在小孔上對(duì)光點(diǎn)的成像是S〞。小孔放在光電檢測(cè)器**,它過(guò)濾可以到達(dá)光電檢測(cè)器的光線,因此它也叫做空間濾波器。 共聚焦裝置的特點(diǎn)是有一個(gè)特別的信噪比。在色散共焦成像中光學(xué)系統(tǒng)是色散測(cè)頭,光
ERT光譜共焦傳感器測(cè)頭及光纖 1.2?測(cè)頭和光纜 測(cè)頭是可以更換的:同一個(gè)控制器多可存儲(chǔ)20個(gè)對(duì)應(yīng)于不同的測(cè)頭的校準(zhǔn)表數(shù)據(jù),即可配備20個(gè)不同的測(cè)頭。 測(cè)頭是完全無(wú)源的,因?yàn)樗鼪](méi)有包含熱源和移動(dòng)部件,所以要避免可能影響傳感器測(cè)量過(guò)程精度的任何熱膨脹。 將測(cè)頭連接在控制器上的光纜長(zhǎng)可以定做到10m,當(dāng)整理光纖線時(shí)避免將其彎曲成曲率半徑小于20mm的圓弧。 注意事項(xiàng): 當(dāng)整理光纖線時(shí)避免
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