俄羅斯美女教師購買我公司的雙溫區(qū)PECVD設(shè)備

時間：2019-08-26作者：南陽市鑫宇新材料科技有限公司瀏覽：106

四路質(zhì)子混氣管式PECVD
本爐子分為四大部分：開啟式管式爐，等離子射頻電源（50-500w），真空泵和閥門、質(zhì)子流量計。
該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者。加熱和冷卻速率可達(dá)100℃/min。為**快速加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10℃/S,是低成本快速熱處理的理想爐。
四路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的紅心過來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD成為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）,內(nèi)爐膛采用國內(nèi)較**的氧化爐陶瓷纖維可以提高設(shè)備加熱效率，同事也可以延長儀器的使用壽命。
主要特點(diǎn)：雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)禍心個點(diǎn)中性物質(zhì)很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

PECVD法是用500w交流等離子體與60*1200、多通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成。
實(shí)驗(yàn)機(jī)理：輝光放等離子體重，電子密度高，電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100

技術(shù)參數(shù)：
1.額定溫度：1100℃? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?2.上限溫度：1200℃
3.電壓：220V? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?4.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲
5.熱電偶：K型? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?  6.溫控方式：智能化30段可編程控制
7.加熱段：220mm+220mm? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??
8.升溫速率：≤30℃/min? ? 推薦升溫速率：≤15℃/min
9.射頻電源：輸出功率：50-500w可調(diào)±1％ 穩(wěn)定性
?? ? ? ? ? ? ? ? 頻率：13.56MHz±0.005％
?? ? ? ? ? ? ? ? 噪聲：﹤50dB
?? ? ? ? ? ? ? ? 冷卻：空氣冷卻
?? ? ? ? ? ? ? ? 輸入功率：AC 220V，500W
10.真空泵和閥門：采用KF25系列波紋管和精密球閥連接
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 真空度可達(dá)10ˉ3pa
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
11.質(zhì)量流量計：內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準(zhǔn)確的控制氣體流量
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 氣體流量范圍為0-200sccm，誤差：0.02％
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 進(jìn)氣口：采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭







?   混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。

  設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、**裝飾等領(lǐng)域。
?多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工具有較低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)?。?nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。微電腦PID控制器，操作簡便操作簡便，控溫、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗(yàn)過程，真正實(shí)現(xiàn)自動控制和運(yùn)行。爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組，性能**
性能可靠：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強(qiáng)度高、性能穩(wěn)定；
潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染。
管式爐系統(tǒng)
爐管尺寸	直徑60mm
加熱區(qū)長度	205mm、350mm、440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)
正常工作溫度	1100℃
工作溫度	1200℃
加熱元件	摻鉬合金加熱絲
爐膛材質(zhì)	采用日本進(jìn)口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
控溫方式	智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示）
真空系統(tǒng)
高真空分子泵組，高真空復(fù)合真空計
前級泵2升每秒，分子泵600升每秒
采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接
質(zhì)子流量計
高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-500ＳＣＣｍ?誤差為0.02%
出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)，
不銹鋼針閥計管道，標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭?
射頻電源系統(tǒng)
輸出功率	50-500W可調(diào)±1%
RF頻率	13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
噪聲	≤55DB
冷卻	風(fēng)冷
輸入功率	1KW??AC?220V
提供相關(guān)配件	氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞
電氣認(rèn)證	CE認(rèn)證
售后服務(wù)	12個月質(zhì)保、終身保修


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• 俄羅斯美女教師購買我公司的雙溫區(qū)PECVD設(shè)備

  四路質(zhì)子混氣管式PECVD 本爐子分為四大部分：開啟式管式爐，等離子射頻電源（50-500w），真空泵和閥門、質(zhì)子流量計。 該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者。加熱和冷卻速率可達(dá)100℃/min。為**快速加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品