氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 **200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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氦質(zhì)譜檢漏儀常用檢漏方法及標(biāo)準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后,由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上,通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同,可以將氦質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,下面分別總結(jié)了這四種氦質(zhì)譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測的標(biāo)準(zhǔn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
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氦氣檢漏的基本功能(部分功能可選配) 1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進(jìn)行耐壓強度和大漏氣密性檢驗; 2、對被檢工件抽真空; 3、對被檢工件充注氦氣; 4、真空箱法氦質(zhì)譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格; 5、回收并循環(huán)使用氦氣; 6、如果氦氣浪費嚴(yán)重,可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進(jìn)行提純 7、PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。 科創(chuàng)真空專業(yè)提供氦氣檢漏,如果您想了解更多產(chǎn)品信息您可撥
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抽真空設(shè)備 一:應(yīng)用范圍: 應(yīng)用于 LNG 行業(yè)生產(chǎn)線,加氣站,槽車,低溫絕熱氣瓶(杜瓦瓶)低溫液體儲罐后期維護(hù),維修。 二:概述: 本設(shè)備可根據(jù)客戶使用需求,在生產(chǎn)線按工位,工藝要求實現(xiàn)智能化自動生產(chǎn)線。實現(xiàn)智能化模塊化設(shè)計,按不同工藝和客戶實際需求定制,保證整體系統(tǒng)的合理化,效益化,智能化和自動化生產(chǎn)。替代傳統(tǒng)設(shè)備的高電耗,效率低,占地面積大,操作繁瑣,維護(hù)不便,運行成本高等缺陷。 低溫氣瓶
儲氣罐抽真空設(shè)備 系統(tǒng)構(gòu)成:分子泵,羅茨泵,前級泵,真空管道,真空閥,電器控制系統(tǒng),冷卻系統(tǒng),加熱系統(tǒng),除氣系統(tǒng),過濾系統(tǒng),檢漏系統(tǒng)。 分子泵:分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。(本公司整體設(shè)備分子泵采用我司專有 LNG 行業(yè)耐大氣壓啟動分子泵。允許壓強 1000pa 啟動。) LNG 應(yīng)用設(shè)備行業(yè)介紹 基本概念
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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因 選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。 質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下: 1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量較1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些
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