昆山薄膜測厚儀廠家

時(shí)間：2021-04-29作者：昆山市周市牧亞凱機(jī)電設(shè)備商行瀏覽：348

在被測量的薄膜上垂直照射可視光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層之間的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。



利用白光干涉測量法的原理，它用一個(gè)寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨薄膜的不同而變化，根據(jù)這一特性進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。


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