【三維表面形貌儀】三維光學(xué)輪廓儀的使用原理？

時間：2021-05-08

三維光學(xué)輪廓儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它的顯著特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級的檢測精度，并可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率?？蓮V泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求較高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能**白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和**材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計(jì)量方案。

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【三維表面形貌儀】三維光學(xué)輪廓儀的使用原理？
三維光學(xué)輪廓儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它的顯著特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級的檢測精度，并可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率?？蓮V泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求較高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)
人工智能時代，機(jī)器視覺技術(shù)的未來趨勢
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浙大科學(xué)家提出三維光學(xué)**分辨成像新方法
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