岡本okamoto全自動(dòng)研磨機(jī)GNX300B

時(shí)間：2021-10-20作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：112

岡本okamoto全自動(dòng)研磨機(jī)GNX300B
okamoto岡本GNX300B全自動(dòng)研磨機(jī)是向下進(jìn)給式全自動(dòng)硅片減薄設(shè)備，兼容8”和12“的機(jī)械搬送臂。


岡本okamoto全自動(dòng)研磨機(jī)GNX300B特點(diǎn)：
·GNX300B擁有BG研磨**技術(shù)。
·日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)
·主軸機(jī)械精度可調(diào)
·岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久
·潤(rùn)滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損
·適用晶圓尺寸：6”、8” 、12”   MAX晶圓厚度： 1000μm。
·可切換全自動(dòng)、半自動(dòng)操作模式
·17寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
·研磨耗材損耗小，加工成本低
·研磨硅屑細(xì)小，沖洗較干凈


GNX300B全自動(dòng)研磨機(jī)規(guī)格：
規(guī)格		GNX300B
MAX加工直徑	Ф300mm
主軸轉(zhuǎn)速范圍	0~3000rpm
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率	5.5/4 Kw/P
主軸進(jìn)給速度范圍	1~999μm/min
主軸數(shù)	                2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍	1~300rpm
研磨輪尺寸	Ф300mm
設(shè)備整重	                5700kg


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