水平多關(guān)節(jié)型4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂適用于半導(dǎo)體

時(shí)間：2021-11-24作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：94

水平多關(guān)節(jié)型4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂適用于半導(dǎo)體



水平多關(guān)節(jié)型4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： 
帶有對(duì)應(yīng)PLP自動(dòng)校準(zhǔn)功能的4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂
適用于并列配置工位的傳送
非接觸校準(zhǔn)功能可實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)
可搬運(yùn)重量10kg



4軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                      潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                            單臂
到達(dá)距離                      1290 mm (被搬送物體中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程           400 mm
可搬運(yùn)質(zhì)量                  10 kg (手臂*3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))



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