小徑晶圓用_3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂

時間：2021-12-01作者：上海衡鵬實業(yè)有限公司瀏覽：142

小徑晶圓用_3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點： 
**潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現(xiàn)設備的小型化
機械手臂標準臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
全軸使用2相步進電機
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                        潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                              單臂
到達距離                        175mm (手臂*3關節(jié)中心到達距離)
升降軸MAX行程              150mm
可搬運質(zhì)量                     0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂*3關節(jié)處基準)


了解更多/wafer_transfer_robot/index2.htm


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