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    氦質(zhì)譜檢漏儀

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    氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而***漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。大容量歷史記錄存儲(chǔ),存儲(chǔ)記錄10000組以上,可按日期、工號(hào)、工件號(hào)查詢測(cè)試結(jié)果。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。





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    氧撿漏介紹

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    氦質(zhì)譜檢漏方法  根據(jù)被檢漏的零件的具體情況采用不同的方法。真空容器或器件常用噴吹法、氦室法和累積法。噴吹法是用噴槍對(duì)部分噴氦氣,找出漏孔的位置,但效率較低;氦室法可對(duì)大容器檢漏,將部分用氦室罩上充入氦氣,可以找到漏孔的大致范圍,但漏孔位置不能確定。氦室法檢漏效率較高。類型3:不明顯的液體泄漏對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行液體泄漏測(cè)試時(shí),結(jié)果可能是產(chǎn)品不存在泄漏,但如果用示蹤氣體檢漏法進(jìn)行檢測(cè),就能夠可靠地發(fā)現(xiàn)泄漏。對(duì)于微小漏孔,可采用累積法,即先用氦室對(duì)部分充入氦氣,再將檢漏儀節(jié)流閥關(guān)閉,積累一定時(shí)間,打開(kāi)節(jié)流閥,觀察離子流的變化。這樣,檢漏靈敏度可提高1~2個(gè)數(shù)量級(jí)。其他方法還有吸收法、背壓法等。對(duì)于容積大、放氣量大、漏率大的容器可采用反流檢漏法,即將被檢容器接在真空系統(tǒng)的擴(kuò)散泵和機(jī)械泵之間,利用擴(kuò)散泵的反流作用,使氦氣反流到質(zhì)譜室而進(jìn)行檢漏。







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