CSNS順利推出自主研制的碳化硼薄膜,從而實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化

時(shí)間：2023-10-18作者：萬達(dá)寶軟件（深圳）有限公司瀏覽：44

據(jù)悉，日前中國散裂中子源(CSNS)探測器團(tuán)隊(duì)利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼**裝置，成功研發(fā)出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品lopgubqhs。

根據(jù)相關(guān)資料顯示，相關(guān)薄膜單片面積達(dá)到 1500mm×500mm，薄膜厚度 1微米，全尺寸范圍內(nèi)厚度均勻性** ±1.32%，號(hào)稱是“目前**上用于中子探測的較大面積的碳化硼薄膜”。

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據(jù)介紹，研究團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)多年較終克服濺射靶材制作、過渡層選擇、基材表面處理等對鍍膜質(zhì)量影響大的關(guān)鍵技術(shù)，從而順利研發(fā)出*的磁控濺射大面積鍍硼**裝置。

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