【金屬油擴散泵】油擴散泵的預防措施

時間：2021-06-10作者：深圳市彩之佳塑膠原材料有限公司瀏覽：154

油擴散泵的預防措施





消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施：
(1)加大擴散泵的啟動功率來縮短機械泵與擴散泵切換時的壓力過渡區(qū)。
(2)通過改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門來避開返流危險區(qū)(切換過渡區(qū))。例如，可使一個按照預定速度開啟的高真空閥，逐漸地開啟它，保證進入擴散泵的氣體流量**它的較大排氣量，并且又使機械泵抽速保證擴散泵前級壓力，以使擴散泵能樹立工作。這樣就能避開過渡區(qū)的出現(xiàn)。
(3)改善操作工藝，將擴散泵的加熱功率調至較佳功率，避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象;一般擴散泵在加熱開始和關閉過程中，返流將出現(xiàn)峰值，所以可用泵口處的高真空閥門來控制避免返流。
(4)在擴散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來捕集返流油蒸氣。
(5)選用優(yōu)質的擴散泵工作液。





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