藍寶石化學機械拋光液作用研究

時間：2023-02-22作者：無錫吉致電子科技有限公司瀏覽：37

目前，藍寶石基片是LED工業(yè)的可以選擇襯底，藍寶石表面的質量對LED器件的質量和性能有著非常重要的影響。因此，在生產藍寶石基片時，對后一道工序拋光加工工序有很高的要求，要求藍寶石基片的表面光滑、無缺陷，這也是藍寶石襯底重要的制程。但是，由于藍寶石晶體材料硬度高，脆性大，屬于典型的難加工材料之一。因此，如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴格要求長期以來備受關注。如今的化學機械拋光是一可實現(xiàn)全局平坦化的拋光方法，而且它的成本相對較低，也是迄今為止可以在藍寶石生產中大規(guī)模應用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒，在水中或溶劑中的分散液，屬于膠體溶液，由于它價格實惠，分散穩(wěn)定性性較好，因此廣泛應用于集成電路化學機械拋光液中。

由于科學技術的進步，人們在藍寶石拋光液的研究方面**了較大進展，硅溶膠拋光液在較廣泛的領域內得到應用，美國新澤西州立大學研究了水相介質對藍寶石拋光的重要性，提出了在以氧化鋁為磨料的拋光液中，藍寶石表面會形成一層硬度較小、易于去除的水化層，從而加快去除速率，保證了表面質量。

前進中的吉致公司是一家專門從事拋光液領域研究的供應商，多年以來一直致力于研發(fā)生產氧化鋁拋光液、氧化硅拋光液、金剛石研磨液、氧化鈰研磨液、碳化硅拋光液、不銹鋼拋光液、鋁合金拋光液、鈦合金拋光液、藍寶石拋光液、鎢鋼拋光液、銅拋光液、DPC覆銅板拋光液、LED顯示面板拋光液等化學產品，憑著優(yōu)良的生產工藝、過硬的產品質量贏得客戶信賴和**，始終堅持以誠信贏得市場、以質量鑄就品牌，吉致公司期待與您合作共贏！


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• 藍寶石化學機械拋光液作用研究

  目前，藍寶石基片是LED工業(yè)的可以選擇襯底，藍寶石表面的質量對LED器件的質量和性能有著非常重要的影響。因此，在生產藍寶石基片時，對后一道工序拋光加工工序有很高的要求，要求藍寶石基片的表面光滑、無缺陷，這也是藍寶石襯底重要的制程。但是，由于藍寶石晶體材料硬度高，脆性大，屬于典型的難加工材料之一。因此，如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴格要求長期以來備受關注。如今的化學機械拋光是一可實現(xiàn)全局平坦化的拋光方法

• 如何讓研磨液在藍寶石的研磨中起到較好的作用

  不同的CMP拋光液對藍寶石研磨效果不應相同，而且研磨液對藍寶石晶體研磨效率的提升和表面質量的改善具有一定的良好反應。藍寶石晶體因其優(yōu)越的物理、光學性能，在LED襯底材料和固態(tài)激光發(fā)光介質中運用非常廣泛，并且將運用到手機面板上。藍寶石的廣泛運用對它的光滑無損傷的表面研磨拋光技術提出了較高的要求，但藍寶石因其物理、化學性能比較穩(wěn)定，在加工上比較艱難。?在目前的工業(yè)上，對于藍寶石的加工需要采用