南力硅電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)

時(shí)間：2016-01-27作者：東莞市南力測(cè)控設(shè)備有限公司瀏覽：194

東莞壓力傳感器-硅電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)與及主要問題與性能特征

電容壓力傳感器是以硅材料為基礎(chǔ)，利用電容較間距變化將壓力轉(zhuǎn)換為電容變化，由MEMS工藝制作的傳感器。

東莞壓力傳感器-主要問題

因其檢測(cè)原理是采用電容較間距變化，而這種較間距變化本身是非線性的，為了改善非線性，開發(fā)出較為復(fù)雜的芯體結(jié)構(gòu)，如接觸式、變面積與變較距相串聯(lián)等結(jié)構(gòu)。位移傳感器另一個(gè)問題是要解決微弱電容信號(hào)的檢測(cè)問題。

東莞壓力傳感器-硅電容壓力傳感器性能特征：

一、適合批量生產(chǎn)，成本低

硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個(gè)4寸硅片可制作幾百個(gè)元件。產(chǎn)品的工藝性好，性能一致，適合批量生產(chǎn)，低成本運(yùn)

行。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復(fù)雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有

高的性能價(jià)格比。

二、穩(wěn)定性好

硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器，壓力傳感器就檢測(cè)原理而言，其穩(wěn)定性**物性型傳感器，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度保證了該類傳感器的穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)工藝采用全硬

封固態(tài)工藝，硅-玻璃-金屬導(dǎo)壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應(yīng)力、滯遲和變差；電容對(duì)溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象硅壓阻器件那樣進(jìn)行復(fù)

雜的溫度補(bǔ)償。穩(wěn)定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

三、指標(biāo)**

電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動(dòng)質(zhì)量小、發(fā)熱影響小的特點(diǎn)，并可進(jìn)行非接觸測(cè)量。硅電容傳感器綜合性能指標(biāo)如非線性、過載、靜壓、可

靠性等性能**硅壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與硅諧振傳感器相當(dāng)，特別是用戶追求的非線性指標(biāo)，通常硅電容傳感器的非線性**

0.05％FS的成品率大于60％。

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東莞市南力測(cè)控設(shè)備有限公司專注于壓力傳感器,稱重測(cè)力傳感器,溫度傳感器,位移傳感器等

• 詞條

  詞條說明

• 智能壓力傳感器典型結(jié)構(gòu)組成部分您了解多少

  智能壓力傳感器主要由傳感器、微處理器及其相關(guān)電路組成。傳感器將被測(cè)的物理量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號(hào),送到信號(hào)調(diào)理電路中,進(jìn)行濾波、放大、模-數(shù)轉(zhuǎn)換后, 送到微計(jì)算機(jī)中。計(jì)算機(jī)是智能傳感器的**,它不但可以對(duì)傳感器測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算、存儲(chǔ)、數(shù)據(jù)處理,還可以通過反饋回路對(duì)傳感器進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于計(jì)算機(jī)充分 發(fā)揮各種軟件的功能,可以完成硬件難以完成的任務(wù),從而大大降低傳感器制造的難度,提高傳感器的性能,降低成本。

• 衡陽扭矩模擬傳感器推薦廠家

  扭矩傳感器系列應(yīng)用非常廣泛,它既可以用在工業(yè)制造行業(yè)中，也可以檢測(cè)出污水處理系統(tǒng)中的功率和扭矩，還可以檢測(cè)電機(jī)、發(fā)動(dòng)機(jī)、內(nèi)燃機(jī)等旋轉(zhuǎn)動(dòng)力設(shè)備的扭矩扭力和輸出功率，檢測(cè)水泵、風(fēng)機(jī)和扭力扳手的功率和扭矩，同時(shí)也可以檢測(cè)汽車、鐵路機(jī)車、飛機(jī)、船還有拖拉機(jī)等眾多機(jī)械的功率和扭矩，其使用范圍是非常廣泛的。數(shù)字式扭矩傳感器有的測(cè)試系統(tǒng)既有扭力又有軸向力時(shí)則可以使用轉(zhuǎn)矩轉(zhuǎn)速軸向力三參數(shù)傳感器，既可以避免軸向力

• 分析壓力開關(guān)廣泛應(yīng)用的新領(lǐng)域是什么？

  關(guān)于壓力開關(guān)的工作原理，我們還是有必要重申一遍：當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)壓力**或**額定的安全壓力時(shí)，感應(yīng)器內(nèi)碟片瞬時(shí)發(fā)生移動(dòng)，通過連接導(dǎo)桿推動(dòng)開關(guān)接頭接通或斷開，當(dāng)壓力降至或升額定的恢復(fù)值時(shí)，碟片瞬復(fù)位，開關(guān)自動(dòng)復(fù)位。 或者簡(jiǎn)單的說是當(dāng)被測(cè)壓力**過額定值時(shí)，彈性元件的自由端產(chǎn)生位移，直接或經(jīng)過比較后推動(dòng)開關(guān)元件，改變開關(guān)元件的通斷狀態(tài)，達(dá)到控制被測(cè)壓力的目的，壓力開關(guān)采用的彈性元件有單圈彈簧管、膜片、膜盒及

• 壓力傳感器在海洋波浪采集測(cè)試過程中的應(yīng)用

  壓力傳感器因其高精度與小體積等特點(diǎn)，廣泛適用于水利水電、海洋勘測(cè)等領(lǐng)域的水、液位測(cè)量。 昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司在原有壓阻液位傳感器的基礎(chǔ) 上開發(fā)了CYG900X**海洋波浪測(cè)試采集儀，實(shí)現(xiàn)了無人職守的長(zhǎng)期長(zhǎng)距離高精度海洋波浪與潮汐測(cè)試。 CYG900X采集儀主要由高速單片處理器，完 成整個(gè)系統(tǒng)的調(diào)度控制功能。由定時(shí)電路記錄采集時(shí)間，并準(zhǔn)確控制采樣間隔時(shí)間、采樣持續(xù)時(shí)間等工作參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)