硅烷氣體項目的工程驗收

時間：2016-10-14作者：南京特種氣體廠股份有限公司瀏覽：56

南京市科學(xué)技術(shù)**組織有關(guān)*對我公司承擔(dān)的江蘇省科技支撐計劃（工業(yè)部分）項目“**大規(guī)模集成電路（VLSI）用**純氣體”進(jìn)行了驗收。驗收**聽取了林總經(jīng)理對項目工作總結(jié)、技術(shù)總結(jié)和經(jīng)費使用情況的匯報，并審閱了相關(guān)資料。驗收**一致認(rèn)為我公司“**大規(guī)模集成電路（VLSI）用**純”項目已完成合同規(guī)定的各項考核指標(biāo)，一致同意通過驗收。
　　　“**大規(guī)模集成電路（VLSI）用**純”項目有效利用公司現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備，通過改造低溫分離裝置、反應(yīng)釜和采用自有**技術(shù)對生產(chǎn)過程中排放的無水液氨氣體進(jìn)行回收循環(huán)利用；形成利用現(xiàn)有生產(chǎn)裝置實現(xiàn)生產(chǎn)99.9999%**純的能力；有效解決了產(chǎn)品包裝的技術(shù)難題。項目技術(shù)路線合理，解決的技術(shù)難題具有代表性，項目技術(shù)達(dá)到國內(nèi)良好水平。該項目已申報國家**6項，其中發(fā)明**4項（已公告），實用新型**2項（已授權(quán)）。參與制定國家標(biāo)準(zhǔn)1項（已頒布實施）。
　　　此次承擔(dān)的江蘇省科技支撐計劃（工業(yè)部分）項目“**大規(guī)模集成電路（VLSI）用**純”項目*了省轄市科技主管部門的驗收，表明我公司在科技創(chuàng)新、研發(fā)等方面**的巨大進(jìn)步，南京特種氣體廠有限公司將繼續(xù)加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，促進(jìn)科技成果的轉(zhuǎn)化，促進(jìn)企業(yè)在電子氣體行業(yè)又好又快的發(fā)展打下堅實的基礎(chǔ)，并且借此基礎(chǔ)像蘇州金宏氣體一樣在電子氣體行業(yè)為國家做出貢獻(xiàn)。


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