潔凈無塵車間為什么要控制溫濕度?

時間：2016-06-03作者：廣東易兆凈化工程有限公司瀏覽：38

潔凈無塵車間為什么要控制溫濕度?
	    無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，
	可以選擇應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，
	必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，
	作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
	直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，
	同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，
	這種車間不宜**過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度**過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，
	如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。 
	    然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)**外部的壓力(靜壓)。
	壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
    1、潔凈度級別高的空間的壓力要**相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
    2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
    3、潔凈空間的壓力要**非潔凈空間的壓力。
	    壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。
	所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
	    對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，
	所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求：
    1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減較快，擴散角度較大。
	    2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，
	這一速度一般不宜大干0。2m/s。
    在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
    垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
    水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s
    


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