微機(jī)電系統(tǒng)的組成材料

時(shí)間：2024-11-26作者：雅馳實(shí)業(yè)（上海）有限公司瀏覽：99

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，即微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是建立在微米/納米技術(shù)（micro/nanotechnology）基礎(chǔ)上的21世紀(jì)*技術(shù)，是指對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測量和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機(jī)械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動(dòng)。它用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù))相結(jié)合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價(jià)格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動(dòng)器和微系統(tǒng)。 微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）是近年來發(fā)展起來的一種新型多學(xué)科交叉的技術(shù)，該技術(shù)將對未來人類生活產(chǎn)生革命性的影響。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
 
按其性質(zhì)可分為結(jié)構(gòu)材料、功能材料和智能材料。
（一）	結(jié)構(gòu)材料
具有一定機(jī)械強(qiáng)度，用于構(gòu)造機(jī)械器件基本結(jié)構(gòu)的材料。結(jié)構(gòu)材料可以是單一材料，也可以是材料組合體。
（二）	功能材料
壓電材料、光敏材料、形狀記憶材料、磁性材料等具有特定功能的材料。可以是單一材料，也可以是復(fù)合材料。
（三）	智能材料
一般具有傳感、致動(dòng)和控制等方面的基本功能，能模仿人類或生物的基本特定行為，能對外界信息具有反應(yīng)，對信息激勵(lì)有自適應(yīng)的能力。常用的智能材料有形狀記憶合金、電致伸縮材料、導(dǎo)電聚合材料、電流變和磁流變材料、儲(chǔ)氫材料等。
（四）	多功能材料
微材料是多功能的 ，例如，在微機(jī)械中用的很多的硅晶體，因它有較好的強(qiáng)度和力學(xué)性能，是一種較好的結(jié)構(gòu)材料；它又同時(shí)具有良好的多種傳感性能，如光電效應(yīng)、光電子效應(yīng)、熱阻效應(yīng)、磁阻效應(yīng)等，因此又是一種很好的功能材料

雅馳實(shí)業(yè)的微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS側(cè)重于**精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。


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