半導(dǎo)體清洗液濃度在線監(jiān)測丨ATAGO愛拓在線濃度計CM-800α

時間：2024-12-16作者：廣州市愛宕科學(xué)儀器有限公司瀏覽：117

清洗工藝是貫穿整個半導(dǎo)體制造的重要環(huán)節(jié)，是影響半導(dǎo)體器件性能以及良率的重要因素之一。在芯片制造過程中，任何的沾污都可能影響半導(dǎo)體器件的性能，甚至引起失效。因此，幾乎在芯片制造的每一道工序前后，都需要進行清洗工藝，去除表面的污染物，保證晶圓表面的潔凈度，尤其在拋光、刻蝕等工藝后，晶圓表面會附著一些顆粒、金屬、**物、自然氧化層等雜質(zhì)。清洗劑的濃度與清洗效果有很大的關(guān)系，一般隨著濃度的增加，去污能力也相應(yīng)的增強，但達到一定濃度后，去污能力不再明顯提高。一般濃度控制在3%-5%為宜。







如何控制清洗劑的濃度？使用 ATAGO（愛拓）在線折光儀，直接安裝在罐體或管道當(dāng)中，實時連續(xù)監(jiān)測清洗液濃度，幫助實時監(jiān)控質(zhì)量。










在線濃度計是通過折光法原理，實時測得溶液的折射率，自動換算成溶液濃度（白利度Brix）顯示，實時了解溶液的濃度變化，不間斷檢測，免去人工檢測誤差，較可設(shè)定上下限報警，**過或**范圍自動發(fā)出警報，檢測數(shù)據(jù)可傳輸電腦，助力數(shù)據(jù)分析，使用在線濃度計實時測量液體濃度，大幅度提高了生產(chǎn)效率及產(chǎn)品一致性。



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