潔凈室無塵室定義標(biāo)準(zhǔn)

時(shí)間：2020-01-05作者：深圳市碧海青云凈化科技有限公司瀏覽：859

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。 


「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除


，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控


制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，


其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 


潔凈室較主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，


使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。 


**均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和


世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。 


209E與209D等較大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭


表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合**公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉


伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，


若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 


美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公


尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3


……Class8表示，較好的等級(jí)為Class 1，較差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總


數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。 

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