云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案

時(shí)間：2019-05-13作者：東莞市永綠環(huán)保工程有限公司瀏覽：346

惠州線路板酸堿廢氣處理設(shè)備
線路板廠酸堿廢氣處理工程
工程名稱：線路板蝕刻線酸堿廢氣處理工程
設(shè)備名稱：酸堿廢氣處理塔
廢氣處理量：100000m3/h
廢氣主要成分：安氣，丙筒
凈化效率：97% 
一、云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案工藝廢氣 
線路板生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣種類較多，廢氣產(chǎn)生量和污染物濃度由設(shè)備配置以及揮發(fā)性原材料的性質(zhì)、用量等決定。
本工程大氣污染物主要為：開料、裁邊、鉆孔等工序產(chǎn)生的粉塵、酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生流酸霧、貼膜、烘烤、文字印刷等工序產(chǎn)生的**廢氣、酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生鹽酸霧、化學(xué)銅工序產(chǎn)生甲全廢氣、鍍金工序產(chǎn)生青化氫、堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生安氣以及剝錫工序產(chǎn)生的氮樣 化物、浸錫過程中產(chǎn)生的含錫廢氣等。 
1）粉塵 
粉塵廢氣主要是開料、鉆孔等工序產(chǎn)生，主要成分為基板碎片和銅箔碎片，排放方式為敞開，收集方式為關(guān)閉門窗負(fù)壓 收集。本項(xiàng)目粉塵主要排放源在1棟，其中開料工序布設(shè)在1棟3樓，鉆孔、磨板等工序布設(shè)在1棟1樓。結(jié)合項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備的布置情況，本項(xiàng)目擬設(shè)置1套布袋除 塵設(shè)施，布設(shè)在1棟樓頂，最后經(jīng)過25m的煙囪排放。


一般情況下，布袋除塵器的處理效率在98%以上，廢氣的設(shè)計(jì)排放標(biāo)準(zhǔn)為廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）工藝廢氣大氣污染物*二時(shí)段二級(jí)排放限值要求。 

2）酸堿廢氣 
酸性廢氣主要為流酸霧、鹽酸霧、青化氫、氮樣化物。流酸霧主要是酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生、鹽酸霧主要是酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生；安氣主要是堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生；氮氧化物主要是退錫工序使用退錫水，內(nèi)含肖酸成分而產(chǎn)生氮氧化物。 

    酸霧主要是酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生。酸洗工序主要是采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%的流酸對(duì)基板進(jìn)行清洗，操作溫度一般為室溫，排放方式有半敞開式(電鍍工段)和密閉式(蝕刻工段)，收集方式為密閉式；微蝕工序是采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%的流酸和雙氧水去除基板表面的氧化層，操作溫 度一般為室溫，排放方式和收集方式均為密閉式。本項(xiàng)目生產(chǎn)線**酸使用濃度不高，室溫狀態(tài)下流酸霧揮發(fā)濃度不高；自動(dòng)生產(chǎn)線上的流酸霧排放基本實(shí)現(xiàn)密閉式 收集，因此無組織排放的流酸霧較少。 

    鹽酸霧主要是酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生（在各個(gè)工序的微蝕段也會(huì)產(chǎn)生酸性氣體，例如內(nèi)層前處理的微蝕、內(nèi)層蝕刻 后的酸洗、沉銅段的微蝕、板電的酸洗、顯影前的酸洗、pp的酸洗、ET的微蝕、WF前的酸洗、沉銀前酸洗微蝕、沉金前的酸洗微蝕、成品包裝前的酸 洗）。酸性蝕刻主要用于內(nèi)層線路板蝕刻，采用氯化銅、鹽酸溶液作為蝕刻液，鹽酸濃度一般在  左右，本項(xiàng)目自動(dòng)蝕刻線基本可實(shí)現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式收集?；罨ば蛑饕褂娩浕Z、錄化錫和鹽酸在孔壁上沉積一層金屬鈀以加速銅沉積反應(yīng)，工作溫度一般為50～60℃，鹽酸霧揮發(fā)速度較快，本項(xiàng)目可實(shí)現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式排放與收集。 


安氣主要是堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生。堿性蝕刻一般多用于外層板工段，是將露銅的銅面蝕刻掉，被錫覆蓋的銅面被保留。堿性蝕刻液的主要成分是氯化銅、安水和錄化安，工作溫度一般在50～60℃，安氣揮發(fā)速度較快，本項(xiàng)目自動(dòng)蝕刻線基本可實(shí)現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式收集。 


氮樣化物主要是退錫工序產(chǎn)生（板電和電鍍后的退鍍都會(huì)產(chǎn)生氮樣化物）。鍍錫的目的是用作后續(xù)堿性蝕刻工序的抗蝕劑使用退錫水，退錫工藝主要是利用退錫水把板上錫全部去除以進(jìn)行后續(xù)表面加工工序。由于退錫水中內(nèi)含肖酸成分而產(chǎn)生氮氧化物。 


云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案本項(xiàng)目酸堿廢氣主要排放源有1棟1樓內(nèi)層工段、2棟1樓電鍍線、2棟2樓外層工段。結(jié)合項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備的布置情 況，本項(xiàng)目擬在1棟、2棟樓頂各設(shè)置1套酸堿廢氣處理設(shè)施。本項(xiàng)目絕大部分生產(chǎn)線擬設(shè)置為密閉生產(chǎn)線，鹽酸霧、流酸霧及安氣廢氣經(jīng)管道收集輸送到樓頂廢氣 噴淋系統(tǒng)進(jìn)行處理。由于本項(xiàng)目產(chǎn)生的氮樣化物為間歇時(shí)排放、且濃度波動(dòng)范圍大，參考《氮樣化物的濕式吸收法討論》（《電鍍與環(huán)?！?，1982年03期）文獻(xiàn)，本項(xiàng)目氮氧化物單獨(dú)收集采用堿液吸收處理方法處理后通過酸堿廢氣煙囪排放，處理效率一般為60% 

3）**廢氣 
**廢氣主要是貼膜、烘烤、文字印刷、壓合等工序產(chǎn)生，項(xiàng)目產(chǎn)生的**廢氣種類復(fù)雜，產(chǎn)生方式為敞開(壓合、貼 膜)和半敞開(烘干)，收集方式為關(guān)門窗負(fù)壓收集。本項(xiàng)目產(chǎn)生的**廢氣擬采用活性炭吸附后，再通過25米高的煙囪向外排放。**氣體的去除率大于 75%。本項(xiàng)目酸堿廢氣主要排放源有1棟2樓內(nèi)層工段、1棟4樓壓合工段、2棟2樓外層工段。結(jié)合項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備的布置情況，本項(xiàng)目擬在1棟、2棟樓頂各設(shè) 置1套**廢氣處理設(shè)施。 


4）甲全廢氣 
甲全廢氣主要是化學(xué)銅工序產(chǎn)生?；瘜W(xué)銅即化學(xué)鍍銅，其目的是在通孔壁上沉積一層銅，使內(nèi)層線路板上下電氣互連。 化學(xué)銅溶液主要成分是流酸銅、甲全、氫樣化鈉和EDTA二鈉鹽，該溶液呈強(qiáng)堿性（pH=12~13），工作溫度為60~65℃。本項(xiàng)目主要甲全廢氣排放源 為2棟1樓沉銅工段，可以實(shí)現(xiàn)負(fù)壓密閉式收集，該廢氣與化學(xué)銅線的酸霧共用收集系統(tǒng)，經(jīng)收集后由管道輸送到噴淋處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。 


5）錫及其化合物 
本項(xiàng)目浸錫生產(chǎn)過程中產(chǎn)生錫及其化合物，本項(xiàng)目含錫廢氣主要排放源為2棟2樓外層工段、2樓3層噴錫等工序，該廢氣經(jīng)收集后由管道輸送到**廢氣處理系統(tǒng)處理。 


6）青化氫 
青化氫廢氣主要是鍍金工序產(chǎn)生。常用的化學(xué)金溶液也是微青的，主要成分是青化金鉀、檸檬酸安、次磷suan鈉和少量添 加劑，反應(yīng)溫度為室溫，反應(yīng)過程中會(huì)產(chǎn)生少量含青廢物。本項(xiàng)目青化氫廢氣主要排放源為2棟3樓鍍金工段?？紤]到青化氫為有毒廢氣，單獨(dú)收集單獨(dú)處理方式，根據(jù)《深圳市電鍍行業(yè)廢氣治理工程建設(shè)管理指引》，本項(xiàng)目采用濕法吸收的處理方法，處理效率一般可達(dá)90%。 
建議考慮到系統(tǒng)的穩(wěn)定性，在車間內(nèi)安裝引風(fēng)機(jī)的時(shí)候，考慮到設(shè)備的損壞及故障時(shí)，應(yīng)考慮到臨時(shí)抽氣系統(tǒng)。 同時(shí)，使用噴淋塔若放置在車間內(nèi)部，需要注意由于噴淋后氣體的溫度降低，可能會(huì)出現(xiàn)結(jié)露。 






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