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水平多關(guān)節(jié)型4軸晶圓搬運機械手臂適用于半導體 水平多關(guān)節(jié)型4軸晶圓搬運機械手臂特點: 帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂 適用于并列配置工位的傳送 非接觸校準功能可實現(xiàn)搬運 可搬運重量10kg 4軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運機械手臂基本參數(shù): 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達距離 1290 mm (被搬送物體中心到達距離) 升降軸MAX行程 400 mm 可搬運質(zhì)量
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公司名: 上海衡鵬實業(yè)有限公司
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