5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂

時(shí)間：2021-11-16作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：84

5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂


5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂特點(diǎn)： 
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm
機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長）
或者3個(gè)FOUP（280mm臂長）
雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用**值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
通過S曲線加減速控制方式以及對運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化
能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供較優(yōu)的手指


5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                          潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                                 單臂
到達(dá)距離                           553mm (手臂*3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸較大行程                 300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量                       4kg (手臂*3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))


了解更多/wafer_transfer_robot/


5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手
防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂


上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司專注于錫膏,錫膏粘度計(jì),波峰焊等

• 詞條

  詞條說明

• AMSEMI_AMW200Pro全自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)

  AMSEMI_AMW200Pro全自動(dòng)晶圓貼膜機(jī) AMSEMI AMW200Pro晶圓貼膜機(jī)特點(diǎn)： ·*特的**真空安裝技術(shù)，不帶滾輪（可選滾輪安裝） ·晶圓搬運(yùn)機(jī)器人 ·伯努利臂用于較薄的晶圓處理 ·晶圓位置和翹曲智能映射 ·晶圓對準(zhǔn)用光纖傳感器 ·處理各種拉鏈的拉鏈 ·晶圓盒式裝載&卸載 ·17英寸標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)PC控制，帶觸摸屏LCD ·完整的SST封面&鋁片框和門 ·內(nèi)置離子發(fā)生器，可提供ESD

• malcom_smt爐溫測試儀RCX-GL

  malcom_smt爐溫測試儀RCX-GL malcom_smt爐溫測試儀RCX-GL特點(diǎn)： ·RCX-GL在**記憶體（6CH溫度測定）上可以自由搭配必要的測試模組 ·malcom針對回流爐工藝管理上新開發(fā)了12ch氧氣濃度RCX-O、爐內(nèi)攝像RCX-C 、風(fēng)速測定RCX-W模組。 ·**的分析軟件TMR-1可以在同一畫面上顯示氧氣弄、風(fēng)速、攝像動(dòng)畫 ·軟件TMR-1新添加了爐溫曲線輔助設(shè)定功能

• K-TAPE使用耐熱性高的材料的微型接線器

  K-TAPE使用耐熱性高的材料的微型接線器 MALCOM_K-TAPE耐熱接線器特長： ·適合焊接的溫度范圍，K型的熱電偶及連接器。里面蘊(yùn)含著瑪儒考姆長年的技術(shù)結(jié)晶。 ·使用了耐熱溫度為280℃的耐熱性高的材料的微型接線器，微小型連接器系列，較適合在回流爐內(nèi)的測定。 ·在需要復(fù)雜的回流焊接的情況下，操作簡便的聚四氟乙烯被覆為可以選擇。 ·熱電偶1根，接線器1個(gè)起銷售中。（標(biāo)準(zhǔn)品） 耐熱接線器K-TAP

• 【停產(chǎn)】SAT-5100潤濕性測試儀，適用于電子器件

  【停產(chǎn)】SAT-5100潤濕性測試儀，適用于電子器件 力世科SAT-5100潤濕性測試儀基本功能： 力世科潤濕性測試儀，采用高精度天平，對各種焊料(有鉛焊錫、無鉛焊錫、焊膏等)的潤濕性及各種電子器件對焊料的附著性進(jìn)行精確的測定和評價(jià)。 潤濕性測試儀SAT-5100特點(diǎn) ·在IEC 60068-2-69、EIAJ ET-7401**標(biāo)準(zhǔn)制定時(shí)被作為參考試驗(yàn)儀器。 ·靈敏度高，穩(wěn)定性好； 目前，可測試