4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手

時間：2021-11-16作者：上海衡鵬實業(yè)有限公司瀏覽：84

4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手



4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手特點： 
防水4軸圓柱坐標型機械手STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）
能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運半導體晶圓
機械手臂標準臂長：160 mm、200 mm
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關節(jié)部位防水結構使用V型密封圈
零件之間的結合面采用Viton材質(zhì)的密封條
Z軸的防水結構可以使用蛇腹管
雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供較優(yōu)的手指




防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                       雙臂
到達距離                 315mm (手臂*3關節(jié)中心到達距離)
升降軸較大行程       300mm
可搬運質(zhì)量              3kg (手臂*3關節(jié)處基準)


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