LaserOptik對(duì)大型光學(xué)器件鍍膜技術(shù)

時(shí)間：2022-07-15作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：225

LASEROPTIK使用專門(mén)的設(shè)備對(duì)大型光學(xué)器件進(jìn)行電介質(zhì)鍍膜，樣品的長(zhǎng)度可達(dá)2米（長(zhǎng)軸為矩形）或直徑為550毫米（圓形），在整個(gè)表面具有**的光譜均勻性和高LIDT值。自動(dòng)超聲波和手動(dòng)清洗程序保證了即使在這些大規(guī)模的幾何形狀上也有較佳的清潔度。下表列出了可能的尺寸。

鍍膜技術(shù)	矩形長(zhǎng)軸	矩形短軸	圓形
IBS	2000mm	250mm	550mm
IAD	1200mm	100mm	350mm
EBE	940mm	80mm	500mm

*在長(zhǎng)軸的給定較大值下，可以用較短的長(zhǎng)軸來(lái)做大

涂層的均勻性是工業(yè)激光器應(yīng)用的一個(gè)關(guān)鍵因素，例如，用于激光光束擴(kuò)展和傳輸系統(tǒng)。涂層設(shè)計(jì)、機(jī)器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和原位過(guò)程控制有助于將梯度效應(yīng)降到較低。均勻性也可以適應(yīng)曲率半徑，例如使用圓柱形透鏡。


大面積矩形鍍膜

對(duì)于矩形的基材，無(wú)論是平面的還是彎曲的，LASEROPTIK可以通過(guò)使用離子束濺射（IBS）為世界上較大的激光鏡鍍膜（長(zhǎng)度可達(dá)2000毫米）。這種方法通常以生產(chǎn)較高質(zhì)量的薄膜而**，但只是在小范圍內(nèi)。然而，通過(guò)重新定義一個(gè)**的基片運(yùn)動(dòng)，LASEROPTIK發(fā)現(xiàn)了一種用于長(zhǎng)距離光學(xué)鍍膜的*特方法，并已獲得**。目前，已經(jīng)有兩臺(tái)定制的機(jī)器能提供這種*特的工藝。

對(duì)于長(zhǎng)度達(dá)2000毫米的光學(xué)器件，中心波長(zhǎng)的差異可以達(dá)到±1%以下。下面的8條測(cè)量曲線顯示了一個(gè)大型光學(xué)器件（長(zhǎng)軸>1300毫米）的優(yōu)異均勻性，該光學(xué)器件上涂有IBS寬帶AR。




大型光學(xué)元件上的IBS涂層的均勻性（BBAR342-412nm/0°）

大面積圓形鍍膜

與矩形基材一樣，如果是標(biāo)準(zhǔn)的涂層要求，圓形光學(xué)器件也可以用IAD和EBE進(jìn)行涂層。當(dāng)涉及到復(fù)雜的鍍膜設(shè)計(jì)和**的光譜性能時(shí)，就只能使用IBS進(jìn)行鍍膜。LASEROPTIK有商業(yè)化的鍍膜系統(tǒng)，適用于直徑400毫米以下的基材、在運(yùn)行中可以達(dá)到直徑550毫米的定制機(jī)器，或者適用于載體行星上的矩形裝配鍍膜。

這些專門(mén)的機(jī)器還可以使用三種或更多的涂層材料來(lái)進(jìn)行鍍膜，這對(duì)在實(shí)現(xiàn)較高LIDT的**薄膜設(shè)計(jì)有很大幫助。這種鍍膜技術(shù)對(duì)于高能量的激光研究，也就是所謂的petawatt和激光核聚變項(xiàng)目至關(guān)重要。大型圓形光學(xué)器件的另一個(gè)常見(jiàn)用途是引力波研究。探測(cè)器的靈敏度取決于端面鏡的**程度，也就是說(shuō)，必須將總損耗和布朗噪聲降到較低才能實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。因?yàn)?/span>IBS的低損耗涂層符合陀螺儀應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)，所以IBS非常適合應(yīng)用在引力波研究。

為支持這一創(chuàng)新設(shè)備，我們建立了獨(dú)立的無(wú)塵室環(huán)境，有專門(mén)的檢測(cè)計(jì)量、光學(xué)清洗和退火解決方案。它是一個(gè)專門(mén)處理大型圓形和矩形光學(xué)器件的部門(mén)的一部分，它能滿足對(duì)LIDT、低損耗和光譜性能的較高要求。

對(duì)整個(gè)尺寸進(jìn)行空間分辨的質(zhì)量檢查，以檢查表面缺陷和光譜性能，包括干涉檢查。大型光學(xué)器件被放置在定制的起重或搬運(yùn)工具中，用于檢查、運(yùn)輸和固定在鍍膜機(jī)上。

“Teresa”，較大的IBS機(jī)器，適用于較大?550mm的基材












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