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    半導(dǎo)體/電子廠房潔凈室的控制

    根據(jù)半導(dǎo)體/電子行業(yè)的潔凈控制要求來(lái)看,控制的主要污染源為環(huán)境含塵量,在潔凈技術(shù)方面,可采取三種綜合性措施:

    1、空氣過(guò)濾

    一般的潔凈室空氣處理系統(tǒng)采用三級(jí)處理過(guò)程。**級(jí)——粗效過(guò)濾器,用于保護(hù)空調(diào)器不受污染;*二級(jí)——采用中效過(guò)濾器保護(hù)風(fēng)管的潔凈度;*三級(jí)——采用高效過(guò)濾器保證高質(zhì)量的空氣直接進(jìn)入潔凈室。

    2、 采用適當(dāng)?shù)臍饬黝愋?

    氣流類型一般有兩類,一類為單向流,常稱作層流;另外一類為為非單向流,也稱作紊流;可根據(jù)不同的需求,進(jìn)行不同的控制。

    3、保證各室之間的壓差

    ? ?一般來(lái)說(shuō),小于5Pa的壓差是毫無(wú)意義的,因?yàn)殡y以阻止空氣回流;凈化車間項(xiàng)目可分為空氣凈化、水凈化、空氣凈化是在一定的空間內(nèi),空氣粒子,細(xì)0菌和其他有害空氣污染物,和室內(nèi)溫度,清潔度、壓力、氣流速度和空氣分布,噪聲、振動(dòng)、和照明、靜態(tài)控制在一定的范圍內(nèi)需求的工程學(xué)科。壓差大于20Pa(隔離工藝處外)是不合理的,因?yàn)椴⒉荒芨纳茲崈羰业奶匦?,反而形成浪費(fèi),故而,壓差在5~20 Pa范圍內(nèi)即可,不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的壓差應(yīng)不小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,應(yīng)不小于10Pa,特殊要求除外。

    ? ?另外,通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)在潔凈室工作中起著關(guān)鍵的作用,決定著系統(tǒng)功能與是否與設(shè)計(jì)的生產(chǎn)相符合,具體設(shè)計(jì)應(yīng)按具體情況在較小的投資和運(yùn)行費(fèi)用的前提下編制方案。所有的運(yùn)行控制皆應(yīng)按照上述四個(gè)方面進(jìn)行。

    濟(jì)南蘭橋凈化工程有限公司

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    高安全性:統(tǒng)一協(xié)調(diào)了各個(gè)設(shè)備供應(yīng)商、工程承包商和服務(wù)提供商,把與整個(gè)凈化無(wú)塵車間-生物安全實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過(guò)程相關(guān)聯(lián)的多個(gè)環(huán)節(jié)、合作伙伴統(tǒng)一協(xié)調(diào)起來(lái)。整個(gè)凈化無(wú)塵車間-生物安全實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過(guò)程都是在公司的統(tǒng)籌安排下進(jìn)行,統(tǒng)一了各個(gè)方面的意見,消除了因意見不統(tǒng)一造成設(shè)計(jì)、施工過(guò)程中各自為證,導(dǎo)致建設(shè)過(guò)程出現(xiàn)安全隱患、返工等的弊病,保證了凈化無(wú)塵車間-生物安全實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)密性,使其能長(zhǎng)期安全運(yùn)行。而在幾乎所有的食用菌生產(chǎn)廠家中,接種車間的衛(wèi)生環(huán)境是關(guān)系到整個(gè)食用菌生產(chǎn),自然空氣中含有各類的“雜菌”,如在接種、制種環(huán)節(jié)中受到污染,會(huì)大大影響接種成功率及日后食用菌外形長(zhǎng)相的美觀度。


    儀器分析實(shí)驗(yàn)室的地板要求|濟(jì)南蘭橋凈化

    4.1 地板

    小型普通的儀器分析室采用一身的固定地板即可滿足需要,但對(duì)于大型精密儀器分析實(shí)驗(yàn)室,例如X熒光光譜室、質(zhì)譜室、離子控針室等實(shí)驗(yàn)室因電纜多,管線復(fù)雜,需要采用架空地板。當(dāng)采用下送上回送風(fēng)方式時(shí),也可利用架空地板下空間作為送風(fēng)靜壓箱。一般地板構(gòu)造有以下幾種。2、儀器分析實(shí)驗(yàn)室的組成儀器分析實(shí)驗(yàn)室組成包括分析儀器室、樣品處理室、暗室、研究室、較衣室、機(jī)房等。

    (1)護(hù)罩式當(dāng)電纜線數(shù)量很少,可以結(jié)扎成束,并可作明線配線時(shí),為防止碰壞電線,可在電線上加一層護(hù)罩,保護(hù)罩高度以不妨礙機(jī)柜門扇開關(guān)為宜。

    (2)地溝式公在電纜通過(guò)的地板下做溝,溝的尺寸一般凈寬250mm,深150mm,即可,溝蓋板劃塊后做成活動(dòng)蓋板,安上少數(shù)鋁制平面拉手,以便開啟。

    (3)活動(dòng)地板又稱裝配式地板,由各種規(guī)格型號(hào)和材質(zhì)的面板塊、可調(diào)支撐、橫梁、緩沖墊等組成?;顒?dòng)地板架空輔設(shè)在儀器室的樓地面上作安裝設(shè)備、敷設(shè)縱橫交錯(cuò)的各種管線、電纜及空調(diào)靜壓箱的空間用。

    活動(dòng)地板應(yīng)機(jī)械性能優(yōu)良、質(zhì)量輕、強(qiáng)度大,表面平整,尺寸穩(wěn)定,互換靈活,裝飾性及質(zhì)感良好,并能滿足防潮、阻燃、防腐等要求。活動(dòng)地板又分防靜電型和非防靜電型兩種。

    活動(dòng)地板使用要求和特點(diǎn)。

    ①不論房間形狀、面積如何,都能方便而*地裝配。

    ②能自由接近電氣連接線和風(fēng)管,便于敷設(shè)和維護(hù)。

    ③承重能力≥800kg/m2。

    ④滿足*要求。

    ⑤能使靜電通泄至地和反射電磁輻射。

    ⑥地板的可卸板能互換,并有較高制作精度,以便利用地板下空間作空調(diào)靜壓箱時(shí)達(dá)到所需密封性。

    ⑦板面無(wú)噪聲、耐磨,既可擦洗又可干擦(用吸塵器)。

    ⑧借助可調(diào)支撐找平地面的不平度。




    濟(jì)南蘭橋凈化工程有限公司專注于QS無(wú)菌食品車間空氣凈化工程,食品添加劑無(wú)菌凈化車間,無(wú)菌衛(wèi)等

  • 詞條

    詞條說(shuō)明

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