單管氧化爐技術(shù)方案
(單管程序氧化爐)
青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
目錄
一、 用途
二、 氧化爐的組成
1、 主機(jī)部分
2、 控制系統(tǒng)
3、 氣路系統(tǒng)
三、 氧化爐主要技術(shù)指標(biāo)
四、 氧化爐的設(shè)計(jì)及制造
五、 電路要求
六、 用材、外觀、顏色
七、 售后服務(wù)
一、 用途
本設(shè)備主要用于大規(guī)模集成電路,電力電子器件等行業(yè),在高溫環(huán)境下對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、合金、退火、鍍膜等工藝。
二、 氧化爐設(shè)備的組成
氧化爐由主機(jī)、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等組成。
(一) 主機(jī)
主機(jī)由爐體、底架、爐體托架、功率變壓器、功率調(diào)節(jié)部件等組成
1、 爐體:爐體結(jié)構(gòu)有爐絲、絕緣子、保溫棉、外殼、把口換等構(gòu)成、爐體恒溫區(qū)400mm,內(nèi)徑250mm,外徑390mm,采用三段控溫技術(shù),一點(diǎn)**溫保護(hù),從而確保恒溫區(qū)內(nèi)溫度的精度,以及爐體使用安全。
1) 加熱爐絲:加熱爐絲采用瑞典KANTHAL,A-1牌號(hào)爐絲,可長(zhǎng)期工作在1200℃的高溫下,加熱爐絲采用三段控溫結(jié)構(gòu),加熱纏繞等特殊技術(shù)和模具,確保了繞制爐絲時(shí)爐絲直徑的均勻度。
2) 絕緣子:絕緣子的功能是,一方面要保護(hù)爐絲匝間間距的均勻性,因?yàn)樗苯佑绊懞銣貐^(qū)的參數(shù)。另一方面爐絲需要絕緣子的支撐,以保證高溫使用情況下不塌。為了保證在有限長(zhǎng)度的爐體上獲得較長(zhǎng)的恒溫區(qū),采用多種間距的絕緣子(理論依據(jù):?jiǎn)味渭訜釥t體溫度在爐體長(zhǎng)度上呈正太分布,多段加熱爐體內(nèi)的溫度可以使用加原理計(jì)算)。
3) 保溫材料:保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個(gè)較其重要的關(guān)鍵技術(shù),根據(jù)爐體的具體使用要求來(lái)進(jìn)行設(shè)計(jì)和計(jì)算。選擇英國(guó)摩根公司含鋯賽拉纖維針刺毯,這種保溫材料纖維長(zhǎng),纖維直徑小,容重合適,氣孔率高,主要成分為AL203,雜質(zhì)少,保溫隔熱性能優(yōu)越。在包裝工藝上,嚴(yán)格按照“無(wú)縫”包裝要求,通過(guò)工裝來(lái)實(shí)現(xiàn)包裝松緊、稀密程度。
4) 外殼:選用304不銹鋼磨砂板。外殼上裝有四個(gè)電機(jī)引線板,四個(gè)熱偶座,其中三個(gè)用于爐溫控制,一個(gè)用于**溫保護(hù)。
5) 把扣環(huán):把扣環(huán)的功能有二,一是保溫隔熱,二是承載爐管。因此要求它不但具有保溫隔熱性能好,而且要有一定的機(jī)械強(qiáng)度。本項(xiàng)目采用輕質(zhì)陶瓷纖維材料。
2、 底架:有標(biāo)準(zhǔn)方鋼型材焊接而成。機(jī)械承載強(qiáng)度保證爐體及變壓器的重量。底架下面配有水平調(diào)整裝置。
3、 爐體的托架:爐體的托架用來(lái)承載爐體,爐體托架可方便拆卸,方便更換爐體。
4、 功率變壓器:采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)冷軋矽鋼片,高強(qiáng)度雙環(huán)氧玻璃絲包∕高強(qiáng)度漆包線,變壓器絕緣等級(jí)為B級(jí)。每管變壓器的功率約為14KW.
5、 功率調(diào)節(jié)模塊:采用MTC功率模塊,接線簡(jiǎn)單、維護(hù)方便、過(guò)載能力強(qiáng),適用各種控制信號(hào)(移相、過(guò)零、周波過(guò)零),是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的單元,互換性強(qiáng)。每個(gè)調(diào)節(jié)單元有三個(gè)MTC模塊。
6、 排氣箱:石英管進(jìn)口處安裝有排氣箱,將工藝過(guò)程中生產(chǎn)的廢氣排出。排氣箱材料選用304不銹鋼。
(二) 控制系統(tǒng)
控制系統(tǒng)部分由高精度智能控溫系統(tǒng)、**溫保護(hù)控制系統(tǒng)、控制面板、熱電偶按鈕開(kāi)關(guān)等組成。
1、 溫控系統(tǒng):溫控系統(tǒng)采用原裝進(jìn)口日本島電MR13控制器,簡(jiǎn)化了用戶(hù)的操作,提高了用戶(hù)工藝的穩(wěn)定性、一致性,降低了生產(chǎn)工藝處理周期,同時(shí)也減少了設(shè)備故障時(shí)間,提高了設(shè)備利用率。
日本島電MR13控制器是新一代通用數(shù)字調(diào)節(jié)儀,具備高速度和高精度以及多個(gè)1∕0,具有很高可靠性。
1) 三個(gè)控制回路:三個(gè)控制回路用來(lái)進(jìn)行爐溫控制(SPIKE)
2) 快速控制:50ms采樣周期使得其可以在要求高速。響應(yīng)的應(yīng)用中使用。
3) 直觀顯示:在帶背光的三行LCD顯示器上同時(shí)顯示PV.SP控制回路狀態(tài)
4) 高分辯率及高精度:千分之三的高精度溫度控制
5) 組態(tài)靈活:可方便組成標(biāo)準(zhǔn)控溫、加熱和冷卻控制
詞條
詞條說(shuō)明
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空爐(vacuum furnace)是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5
?石英軟領(lǐng)為進(jìn)口石英纖維棉采用德國(guó)加工工藝制成,用于擴(kuò)散爐和PECVD設(shè)備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問(wèn)題:一是保溫棉長(zhǎng)時(shí)間在高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動(dòng)堵塞保溫棉不均勻,影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長(zhǎng)期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧化,防震,防腐蝕。
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)
? 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD) PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積)設(shè)備是一種用于在基片上生成高質(zhì)量SiNx和SiO2薄膜的**設(shè)備。淀積溫度范圍寬( 100~600oC可調(diào)),特別適用于半導(dǎo)體器件和集成電路的鈍化,用以提高器件和集成電路可靠性。目前,它已成為微電子和光電子領(lǐng)域科研和生產(chǎn)不可缺少的設(shè)備。 產(chǎn)品特點(diǎn): 1、膜質(zhì)量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機(jī)(易漏大氣而
聯(lián)系人: 顏
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